[實用新型]陶瓷盤等分旋轉機構有效

申請號：	201921314094.4	申請日：	2019-08-14
公開（公告）號：	CN210040150U	公開（公告）日：	2020-02-07
發明（設計）人：	李繼忠;李述周;朱春	申請（專利權）人：	常州科沛達清洗技術股份有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/683
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	213000 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	升降臺等分旋轉定位臺陶瓷盤升降動力件旋轉動力通孔氣管升降本實用新型驅動定位準確定位組件軸向旋轉組件包括晶圓片工作臺貼合貼片連通穿過配合保證
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【權利要求書】：

1.一種陶瓷盤等分旋轉機構，其特征在于：包括工作臺及設置在工作臺上的等分旋轉組件，所述等分旋轉組件包括升降動力件、升降臺、旋轉動力件及定位臺，所述定位臺固定在工作臺上，定位臺中心具有通孔，所述升降動力件與升降臺連接，所述升降臺內具有氣管，升降臺上表面具有氣孔，氣管與氣孔連通，升降動力件可驅動升降臺升降以穿過定位臺的通孔，所述旋轉動力件與升降臺連接，旋轉動力件可驅動升降臺軸向旋轉。

2.根據權利要求1所述的陶瓷盤等分旋轉機構，其特征在于：所述定位臺周圍設置有用于定位陶瓷盤的定位組件，所述定位組件包括推送動力件及推板，所述推送動力件可驅動推板平移，所述推板側部開設有與陶瓷盤邊緣相對應的弧形槽。

3.根據權利要求1所述的陶瓷盤等分旋轉機構，其特征在于：所述升降臺頂端固定有轉板，所述旋轉動力件與轉板連接。

4.根據權利要求3所述的陶瓷盤等分旋轉機構，其特征在于：所述升降臺底端設置有連接座，所述升降動力件通過連接座與升降臺連接，升降臺與連接座之間設置有軸承。

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