[實(shí)用新型]硅片承載花籃

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921299527.3
• 申請(qǐng)日: 2019-08-12
• 公開（公告）號(hào): CN210607205U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魏超鋒;成路;李瑛;任新剛;王東旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673
• 代理公司: 北京挺立專利事務(wù)所(普通合伙) 11265
• 代理人: 韓暢

本公開提供一種硅片承載花籃，涉及硅片承載結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域。包括兩個(gè)端板和連接于兩個(gè)端板之間的插片桿件，插片桿件相對(duì)設(shè)置于硅片承載花籃的兩側(cè)，每側(cè)的插片桿件均具有呈上下排布的第一組花籃齒和第二組花籃齒，第一組花籃齒和第二組花籃齒均包括多個(gè)自一個(gè)端板向另一端板方向依次間隔設(shè)置的花籃齒，相鄰的兩個(gè)花籃齒之間具有齒間隙，第二組花籃齒的花籃齒的位置與第一組花籃齒的齒間隙的位置相對(duì)應(yīng)。本公開提供的硅片承載花籃能夠更好地去除花籃齒與花籃齒之間集聚的水分，從而解決了硅片在烘干時(shí)，花籃齒與花籃齒之間的聚集的水不易干燥的問題，同時(shí)還能有效解決硅片在插片和清洗過程中相鄰硅片之間粘連的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及一種硅片承載結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及硅片承載花籃。

背景技術(shù)

目前的硅片承載花籃中，插片桿件部分含有間隔分布的花籃齒，放置在花籃中的多個(gè)硅片被花籃齒隔開。由于插片桿件上的花籃齒分布在同一條直線上，硅片邊緣同一位置處正反兩側(cè)均與花籃齒相互作用，在該處與花籃齒之間聚集大量的水，花籃齒密度大使得該處聚集的水不易流動(dòng)擴(kuò)散，從而使得現(xiàn)有的承載花籃中的硅片存在烘干耗時(shí)長(zhǎng)、或干燥后出現(xiàn)殘留水印的問題，同時(shí)還存在相鄰硅片在插片和清洗過程中容易粘連的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本公開的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種硅片承載花籃，該硅片承載花籃能夠避免或減少花籃齒之間集聚的水，從而解決了硅片在烘干時(shí)，花籃齒與花籃齒之間的聚集的水不易干燥的問題、以及硅片水印不良的問題，同時(shí)還能有效解決硅片在插片和清洗過程的相鄰硅片之間粘連的問題。

本公開提供的一種硅片承載花籃，包括兩個(gè)端板和連接于兩個(gè)端板之間的插片桿件，所述插片桿件相對(duì)設(shè)置于所述硅片承載花籃的兩側(cè)，每側(cè)的所述插片桿件均具有呈上下排布的第一組花籃齒和第二組花籃齒，所述第一組花籃齒和第二組花籃齒均包括多個(gè)自一個(gè)端板向另一端板方向依次間隔設(shè)置的花籃齒，相鄰的兩個(gè)花籃齒之間具有齒間隙，所述第二組花籃齒的花籃齒的位置與所述第一組花籃齒的齒間隙的位置相對(duì)應(yīng)。

本公開提供的一種硅片承載花籃，還包括如下附屬技術(shù)方案：

其中，所述第一組花籃齒和所述第二組花籃齒中，相鄰的兩個(gè)花籃齒之間的距離相同，相鄰的兩個(gè)花籃齒之間的距離也相同；所述第一組花籃齒的相鄰的兩個(gè)花籃齒之間的距離與所述第二組花籃齒的相鄰的兩個(gè)花籃齒之間的距離相同。

其中，所述第二組花籃齒的花籃齒設(shè)置于所述第一組花籃齒的齒間隙中心線所在的位置。

其中，所述插片桿件包括多根插片桿，所述花籃齒自一側(cè)的插片桿向另一側(cè)的插片桿方向延伸；所述插片桿件包括四根插片桿，分別連接在端板的上方和下方；或，所述插片桿件包括六根插片桿，分別設(shè)置在端板的上方、下方和中間。

其中，所述上下排布的第一組花籃齒和第二組花籃齒，分別設(shè)置于位于所述硅片承載花籃同一側(cè)的多根不同的插片桿上，或者，所述第一組花籃齒和第二組花籃齒設(shè)置于同一根插片桿上。

其中，一側(cè)的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒與另一側(cè)的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒的數(shù)量和大小均相同，一側(cè)的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒與另一側(cè)的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒的數(shù)量和大小也均相同；一側(cè)的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒該在插片桿件上的位置與另一側(cè)的插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置也相同，一側(cè)的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置與另一側(cè)的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置也相同。

其中，所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒與第二組花籃齒的花籃齒上平行于所述插片桿件的截面的面積均沿著遠(yuǎn)離所述插片桿件的方向逐漸減小。

其中，所述第一組花籃齒的花籃齒與第二組花籃齒的花籃齒上平行于所述插片桿件的截面的形狀均為圓形、橢圓形、半圓形、半橢圓形或多邊形。