[實用新型]硅片承載花籃

有效

• 申請號: 201921299527.3
• 申請日: 2019-08-12
• 公開（公告）號: CN210607205U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 魏超鋒;成路;李瑛;任新剛;王東旭
• 申請（專利權）人: 隆基綠能科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265
• 代理人: 韓暢

1.一種硅片承載花籃，包括兩個端板和連接于兩個端板之間的插片桿件，其特征在于，所述插片桿件相對設置于所述硅片承載花籃的兩側，每側的所述插片桿件均具有呈上下排布的第一組花籃齒和第二組花籃齒，所述第一組花籃齒和第二組花籃齒均包括多個自一個端板向另一端板方向依次間隔設置的花籃齒，相鄰的兩個花籃齒之間具有齒間隙，所述第二組花籃齒的花籃齒的位置與所述第一組花籃齒的齒間隙的位置相對應。

2.根據權利要求1所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述第一組花籃齒和所述第二組花籃齒中，相鄰的兩個花籃齒之間的距離相同，所述第一組花籃齒的相鄰的兩個花籃齒之間的距離與所述第二組花籃齒的相鄰的兩個花籃齒之間的距離相同。

3.根據權利要求2所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述第二組花籃齒的花籃齒設置于所述第一組花籃齒的齒間隙中心線所在的位置。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述插片桿件包括多根插片桿，所述花籃齒自一側的插片桿向另一側的插片桿方向延伸；所述插片桿件包括四根插片桿，分別連接在端板的上方和下方；或，所述插片桿件包括六根插片桿，分別設置在端板的上方、下方和中間。

5.根據權利要求4所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述上下排布的第一組花籃齒和第二組花籃齒，分別設置于位于所述硅片承載花籃同一側的多根不同的插片桿上，或者，所述第一組花籃齒和第二組花籃齒設置于同一根插片桿上。

6.根據權利要求1-3中任一項所述的硅片承載花籃，其特征在于，一側的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒與另一側的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒的數量和大小均相同，一側的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒與另一側的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒的數量和大小也均相同；一側的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置與另一側的所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置也相同，一側的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置與另一側的所述插片桿件上的第二組花籃齒的花籃齒在該插片桿件上的位置也相同。

7.根據權利要求1-3任一項所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述插片桿件上的第一組花籃齒的花籃齒與第二組花籃齒的花籃齒上平行于所述插片桿件的截面的面積均沿著遠離所述插片桿件的方向逐漸減小。

8.根據權利要求7所述的硅片承載花籃，其特征在于，所述第一組花籃齒的花籃齒與第二組花籃齒的花籃齒上平行于所述插片桿件的截面的形狀均為圓形、橢圓形、半圓形、半橢圓形或多邊形。

9.根據權利要求1所述的硅片承載花籃，其特征在于，兩個所述端板之間還設置有與兩個所述端板均連接的承載桿，所述承載桿連接在靠近所述端板底部的位置。

10.根據權利要求1所述的硅片承載花籃，其特征在于，兩個所述端板的外側均設置有與所述插片桿件對應的固定組件，所述固定組件將所述插片桿件固定于所述端板；兩個所述端板之間還連接有拉桿，所述拉桿用于對承載花籃起支撐加固作用。