[實(shí)用新型]一種集成電路無塵車間機(jī)臺載重基座

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921299412.4
• 申請日: 2019-08-12
• 公開（公告）號: CN210319096U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 商富祥;商富彬
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇瑞鑫集成電路設(shè)備有限公司
• 主分類號: F16M5/00
• 分類號: F16M5/00
• 代理公司: 南京常青藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32286
• 代理人: 毛洪梅

本實(shí)用新型公開了一種集成電路無塵車間機(jī)臺載重基座，包括橫梁式支撐腳，橫梁式支撐腳上設(shè)有鋼構(gòu)地板，鋼構(gòu)地板和橫梁式支撐腳通過固定螺栓連接，鋼構(gòu)地板上設(shè)有螺紋孔，螺紋孔兩排為一組，螺紋孔橫向設(shè)有如干組，每組螺紋孔之間設(shè)有間距，鋼構(gòu)地板上設(shè)有支撐板，支撐板上設(shè)有水泥板，本實(shí)用進(jìn)過多層減震結(jié)構(gòu)，能夠有效的減少外界對機(jī)臺的影響，同時(shí)也能保證機(jī)臺穩(wěn)定的運(yùn)行。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及載重基座領(lǐng)域，具體為一種集成電路無塵車間機(jī)臺載重基座。

背景技術(shù)

載重基座能承重基座的重量，同時(shí)進(jìn)行隔離震動減少外界環(huán)境對機(jī)臺的影響，尤其是進(jìn)行集成電路等精加工時(shí)，為了保證加工的精度必須進(jìn)行隔離震動，同時(shí)加工的機(jī)器較重時(shí)能分擔(dān)重量，避免地板下陷。在建造基座的過程中遇到了一些問題；一、基座設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)單一，只有一種或兩種結(jié)構(gòu)進(jìn)行承重和隔離震動，無法有效的對震動進(jìn)行隔離，導(dǎo)致機(jī)器晃動造成加工誤差；二、各種定位件通常以墊片為基底，安裝麻煩且費(fèi)力，無法有效的保證幾套的定位效果。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種集成電路無塵車間機(jī)臺載重基座，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種集成電路無塵車間機(jī)臺載重基座，包括橫梁式支撐腳，所述橫梁式支撐腳上設(shè)有鋼構(gòu)地板，所述鋼構(gòu)地板和橫梁式支撐腳通過固定螺栓連接，所述鋼構(gòu)地板上設(shè)有螺紋孔，所述螺紋孔兩排為一組，所述螺紋孔橫向設(shè)有若干組，每組所述螺紋孔之間設(shè)有間距，所述鋼構(gòu)地板上設(shè)有支撐板，所述支撐板上設(shè)有水泥板。

優(yōu)選的，所述支撐板兩側(cè)設(shè)有凹槽，所述凹槽為階梯形，所述凹槽的位置和鋼構(gòu)地板上的螺紋孔相匹配，兩個(gè)所述凹槽中間設(shè)有螺紋孔，所述凹槽內(nèi)設(shè)有固定螺栓，所述固定螺栓上設(shè)有墊圈，所述固定螺栓的螺頭直徑大于階梯形凹槽下半部分小于上半部分，所述固定螺栓螺頭的高度小于凹槽上半部分，所述固定螺栓的螺桿能貫穿凹槽下半部分和鋼構(gòu)地板上的螺紋孔連接。

優(yōu)選的，所述支撐板上設(shè)有固定片，所述固定片為L形，所述固定片的一端設(shè)有兩個(gè)螺紋孔，所述固定片上的螺紋孔位置和支撐板上的螺紋孔能配合連接，所述固定片的另一側(cè)設(shè)有定位螺栓，所述定位螺栓貫穿固定片到達(dá)楔形板處，所述楔形板前端設(shè)有阻隔板。

優(yōu)選的，所述水泥板結(jié)構(gòu)為T形，所述水泥板兩側(cè)鑲嵌有鋼板，所述水泥板下端設(shè)有鋼筋，所述鋼筋縱向、橫向及垂直向相交搭接，所述鋼板下方由鋼筋搭建成凸臺，所述凸臺設(shè)有若干組，所述凸臺之間之間設(shè)有間距，所述水泥板其余部分填充水泥。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：一、本實(shí)用新型通過加入多層減震結(jié)構(gòu)，橫梁式支撐腳和地面連接，橫梁式支撐腳上方安裝有鋼構(gòu)地板，鋼構(gòu)地板對機(jī)臺提供支撐作用，鋼構(gòu)地板上用固定螺栓連接有支撐板，支撐板上設(shè)有水泥板，通過多層次的減震結(jié)構(gòu)對震動層層消減，保證機(jī)臺不受外界環(huán)境的影響；二、支撐板上通過固定螺栓固定連接有固定片，固定片上安裝有定位螺栓，定位螺栓前有楔形板，楔形板前設(shè)有阻隔板，通過定位螺栓移動楔形板，楔形板推動阻隔板對水泥板進(jìn)行定位固定，添加楔形板可以讓阻隔板在移動的時(shí)候受力更加均勻，使得定位更加準(zhǔn)確；水泥板內(nèi)鑲嵌有鋼板，使得機(jī)臺支撐更加平穩(wěn)，避免機(jī)臺過重將水泥板壓陷。

附圖說明

圖1為基座立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為支撐板立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為固定板連接示意圖；

圖4為凹槽形狀示意圖；

圖5為水泥板結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1橫梁式支撐腳、2鋼構(gòu)地板、3螺紋孔、4支撐板、5水泥板、6 鋼板、7凹槽、8固定片、9定位螺栓、10固定螺栓、11墊圈、12楔形板、13阻隔板、14鋼筋、15凸臺。

具體實(shí)施方式