[實用新型]一種集成電路無塵車間機臺載重基座有效
| 申請號: | 201921299412.4 | 申請日: | 2019-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN210319096U | 公開(公告)日: | 2020-04-14 |
| 發明(設計)人: | 商富祥;商富彬 | 申請(專利權)人: | 江蘇瑞鑫集成電路設備有限公司 |
| 主分類號: | F16M5/00 | 分類號: | F16M5/00 |
| 代理公司: | 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286 | 代理人: | 毛洪梅 |
| 地址: | 224000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 集成電路 無塵車間 機臺 載重 基座 | ||
1.一種集成電路無塵車間機臺載重基座,包括橫梁式支撐腳(1),其特征在于:所述橫梁式支撐腳(1)上設有鋼構地板(2),所述鋼構地板(2)和橫梁式支撐腳(1)通過固定螺栓(10)連接,所述鋼構地板(2)上設有螺紋孔(3),所述螺紋孔(3)兩排為一組,所述螺紋孔(3)橫向設有若干組,每組所述螺紋孔(3)之間設有間距,所述鋼構地板(2)上設有支撐板(4),所述支撐板(4)上設有水泥板(5)。
2.根據權利要求1所述的一種集成電路無塵車間機臺載重基座,其特征在于:所述支撐板(4)兩側設有凹槽(7),所述凹槽(7)為階梯形,所述凹槽(7)的位置和鋼構地板(2)上的螺紋孔(3)相匹配,兩個所述凹槽(7)中間設有螺紋孔(3),所述凹槽(7)內設有固定螺栓(10),所述固定螺栓(10)上設有墊圈(11),所述固定螺栓(10)的螺頭直徑大于階梯形凹槽(7)下半部分小于上半部分,所述固定螺栓(10)螺頭的高度小于凹槽(7)上半部分,所述固定螺栓(10)的螺桿能貫穿凹槽(7)下半部分和鋼構地板(2)上的螺紋孔(3)連接。
3.根據權利要求1所述的一種集成電路無塵車間機臺載重基座,其特征在于:所述支撐板(4)上設有固定片(8),所述固定片(8)為L形,所述固定片(8)的一端設有兩個螺紋孔(3),所述固定片(8)上的螺紋孔(3)位置和支撐板(4)上的螺紋孔(3)能配合連接,所述固定片(8)的另一側設有定位螺栓(9),所述定位螺栓(9)貫穿固定片(8)到達楔形板(12)處,所述楔形板(12)前端設有阻隔板(13)。
4.根據權利要求1所述的一種集成電路無塵車間機臺載重基座,其特征在于:所述水泥板(5)結構為T形,所述水泥板(5)兩側鑲嵌有鋼板(6),所述水泥板(5)下端設有鋼筋(14),所述鋼筋(14)縱向、橫向及垂直向相交搭接,所述鋼板(6)下方由鋼筋(14)搭建成凸臺(15),所述凸臺(15)設有若干組,所述凸臺(15)之間之間設有間距,所述水泥板(5)其余部分填充水泥。
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