[實用新型]一種動態校準的掃描式UV曝光光源系統

有效

• 申請號: 201921293415.7
• 申請日: 2019-08-12
• 公開（公告）號: CN210573185U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 涂剛峰
• 申請（專利權）人: 廣州嘉禾盛信息科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 陶志國

本實用新型公開了一種動態校準的掃描式UV曝光光源系統，包括箱體、光源裝置及散熱結構，箱體包括底面、側面及發光面，側面設于底面上，發光面設于側面上，且發光面上設有多個開孔，多個開孔按照設定規則均勻排列；光源裝置包括多個實時反饋的動態掃描式平行光源，該多個平行光源均設置在箱體內部；該多個平行光源與多個開孔的數量一致，并且每個平行光源對向于每個開孔；散熱結構設置在箱體的側面。其中，本申請的光源為采用實時反饋的動態掃描式平行光源，且該平行光源設有多個，由此，不但減少了單個光源的數量，減少了校正的時間，還可提高整體的轉配效率；同時，配置了散熱結構，使產品在工作中能快速散發熱量。

技術領域

本實用新型涉及曝光機的技術領域，尤其涉及一種動態校準的掃描式UV 曝光光源系統。

背景技術

當前，由于傳統的曝光機光源均采用大面積陣列設置的布置方式，那么，如果要調整光源時，每個燈都要調整其垂直度和平行性，而這樣，不但耗費大量時間，而且光源的平行度調整難以保證，效率極低；同時，若其中的一個或部分光源出現偏差，均需要從新校正，操作麻煩，而且也難以保證光源的均勻性。

因此，有必要提供一種技術手段以解決上述缺陷。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術之缺陷，提供一種動態校準的掃描式 UV曝光光源系統，以解決現有技術中的曝光機光源在調整過程中存在耗時多、操作麻煩、以及光源的平行性及均勻性難以保證的問題。

本實用新型是這樣實現的，一種動態校準的掃描式UV曝光光源系統，包括：

箱體，所述箱體包括底面、側面及發光面，所述側面設于所述底面上，且所述側面包括前側面、后側面、左側面及右側面，所述前側面與所述后側面相對間隔設置，所述左側面與所述右側面相對間隔設置，且所述左側面分別與所述前側面、所述后側面連接，所述右側面分別與所述前側面、所述后側面連接；所述發光面設于所述側面上，且所述發光面上設有多個開孔，所述多個開孔按照設定規則均勻排列；

光源裝置，所述光源裝置包括多個實時反饋的動態掃描式平行光源，該多個平行光源均設置在所述箱體內部；該多個平行光源與所述多個開孔的數量一致，并且每個所述平行光源對向于每個所述開孔；

散熱結構，所述散熱結構設置在所述箱體的側面，用于將所述光源裝置產生的熱量快速散發；

其中，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數量對應的多個獨立式調節機構，每個所述獨立式調節機構設置在每個所述平行光源的頂端，并與所述發光面連接，用于調整對應的所述平行光源的光源準直度和均勻性；

所述開孔設有兩排，每排所述開孔沿同一直線方向均勻排列布置。

具體地，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數量對應的多個光源固定座,每個所述光源固定座設置在每個所述平行光源的底部，用于將對應的所述平行光源支撐在所述箱體內部。

具體地，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數量對應的多個光源散熱器，每個所述光源散熱器設置在每個所述平行光源的下側側面，用于將對應的所述平行光源產生的熱量散發。

進一步地，所述光源散熱器為柵格式散熱器。

優選地，所述光源散熱器對向于所述散熱結構。

具體地，所述開孔為長條形開孔。

具體地，所述散熱結構包括設于所述箱體的側面的散熱孔。

具體地，所述發光面上設置多個安裝孔位，用于固定所述箱體。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：