[實用新型]一種動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921293415.7
• 申請日: 2019-08-12
• 公開（公告）號: CN210573185U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 涂剛峰
• 申請（專利權(quán)）人: 廣州嘉禾盛信息科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 陶志國

1.一種動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，包括：

箱體，所述箱體包括底面、側(cè)面及發(fā)光面，所述側(cè)面設(shè)于所述底面上，且所述側(cè)面包括前側(cè)面、后側(cè)面、左側(cè)面及右側(cè)面，所述前側(cè)面與所述后側(cè)面相對間隔設(shè)置，所述左側(cè)面與所述右側(cè)面相對間隔設(shè)置，且所述左側(cè)面分別與所述前側(cè)面、所述后側(cè)面連接，所述右側(cè)面分別與所述前側(cè)面、所述后側(cè)面連接；所述發(fā)光面設(shè)于所述側(cè)面上，且所述發(fā)光面上設(shè)有多個開孔，所述多個開孔按照設(shè)定規(guī)則均勻排列；

光源裝置，所述光源裝置包括多個實時反饋的動態(tài)掃描式平行光源，該多個平行光源均設(shè)置在所述箱體內(nèi)部；該多個平行光源與所述多個開孔的數(shù)量一致，并且每個所述平行光源對向于每個所述開孔；

散熱結(jié)構(gòu)，所述散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述箱體的側(cè)面，用于將所述光源裝置產(chǎn)生的熱量快速散發(fā)；

其中，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數(shù)量對應(yīng)的多個獨立式調(diào)節(jié)機構(gòu)，每個所述獨立式調(diào)節(jié)機構(gòu)設(shè)置在每個所述平行光源的頂端，并與所述發(fā)光面連接，用于調(diào)整對應(yīng)的所述平行光源的光源準直度和均勻性；

所述開孔設(shè)有兩排，每排所述開孔沿同一直線方向均勻排列布置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數(shù)量對應(yīng)的多個光源固定座,每個所述光源固定座設(shè)置在每個所述平行光源的底部，用于將對應(yīng)的所述平行光源支撐在所述箱體內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述光源裝置還包括與所述多個平行光源的數(shù)量對應(yīng)的多個光源散熱器，每個所述光源散熱器設(shè)置在每個所述平行光源的下側(cè)側(cè)面，用于將對應(yīng)的所述平行光源產(chǎn)生的熱量散發(fā)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述光源散熱器為柵格式散熱器。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述光源散熱器對向于所述散熱結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述開孔為長條形開孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述散熱結(jié)構(gòu)包括設(shè)于所述箱體的側(cè)面的散熱孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的動態(tài)校準的掃描式UV曝光光源系統(tǒng)，其特征在于，所述發(fā)光面上設(shè)置多個安裝孔位，用于固定所述箱體。