[實用新型]一種旋轉靶材的垂直綁定裝置

有效

• 申請號: 201921290902.8
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN210314468U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 高明;張花蕊;張虎;陳浩杰
• 申請（專利權）人: 北京航大微納科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種旋轉靶材的垂直綁定裝置，包括襯管(1)、分段套設在襯管(1)上的至少兩個靶管(2)、所述襯管(1)內設有內加熱裝置(3)，所述靶管(2)外設有外加熱裝置(4)；其特征在于：所述內加熱裝置(3)沿所述襯管(1)的延伸方向分為獨立控制的多個加熱段(31)，所述加熱段(31)與所述靶管(2)一一對應設置；所述外加熱裝置(4)與所述靶管(2)一一對應設置，每個所述外加熱裝置(4)均為獨立控制。

2.根據權利要求1所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：每個所述加熱段(31)與第一溫控器(5)對應連接，每個所述外加熱裝置(4)與第二溫控器(6)對應連接。

3.根據權利要求2所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述內加熱裝置(3)包括加熱絲卷繞而成的加熱棒(32)，以及套設在所述加熱棒(32)外的導熱套(33)。

4.根據權利要求3所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述外加熱裝置(4)為包覆在對應的所述靶管(2)外側的加熱套。

5.根據權利要求4所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：在所述加熱套上設有可脫開的連接結構(41)。

6.根據權利要求5所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述連接結構(41)為對應設置在所述加熱套兩端的公魔術貼和母魔術貼。

7.根據權利要求1至6任一權利要求所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述加熱段(31)長度為20-600mm。

8.根據權利要求1至6任一權利要求所述的旋轉靶材的垂直綁定裝置，其特征在于：所述內加熱裝置(3)的上端設有拉環(34)。