[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)靶材的垂直綁定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921290902.8
• 申請(qǐng)日: 2019-08-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210314468U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高明;張花蕊;張虎;陳浩杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京航大微納科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34;B23K1/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材的垂直綁定裝置，包括襯管(1)、分段套設(shè)在襯管(1)上的至少兩個(gè)靶管(2)、所述襯管(1)內(nèi)設(shè)有內(nèi)加熱裝置(3)，所述靶管(2)外設(shè)有外加熱裝置(4)；其特征在于：所述內(nèi)加熱裝置(3)沿所述襯管(1)的延伸方向分為獨(dú)立控制的多個(gè)加熱段(31)，所述加熱段(31)與所述靶管(2)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置；所述外加熱裝置(4)與所述靶管(2)一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，每個(gè)所述外加熱裝置(4)均為獨(dú)立控制。本實(shí)用新型的綁定裝置能夠防止焊料在綁定過(guò)程中沖破密封裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及靶材綁定領(lǐng)域，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)靶材的垂直綁定裝置。

背景技術(shù)

磁控濺射鍍膜是目前鍍膜行業(yè)應(yīng)用廣泛的鍍膜沉積工藝。濺射鍍膜的原理是在真空條件下，通過(guò)電子槍氬離子對(duì)靶材表面進(jìn)行轟擊，靶材表面材料以分子、原子、離子或電子等形式被濺射出來(lái)，飛濺到基板上沉積成膜。

濺射靶材通常有兩類：平面靶材和旋轉(zhuǎn)靶材，其中平面靶材的利用率只有20-30％，為了提高靶材的利用率，旋轉(zhuǎn)靶材被越來(lái)越多地應(yīng)用于實(shí)際制造中。并且隨著科技的進(jìn)步，越來(lái)越需要大尺寸的旋轉(zhuǎn)靶材。

對(duì)于陶瓷靶管和某些金屬靶管，由于其脆性大，很難用澆注法和噴涂方法生產(chǎn)，只能用冷等靜壓加燒結(jié)或熱等靜壓方法生產(chǎn)出一節(jié)節(jié)靶管，然后通過(guò)綁定到襯管上形成大尺寸靶材。目前常用的綁定方式可參考公開(kāi)號(hào)為CN206366646U的中國(guó)實(shí)用新型專利《一種陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材邦定的金屬密封系統(tǒng)》，該種旋轉(zhuǎn)靶材包括金屬背管和套置在金屬背管外部的第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材，其中，金屬背管和第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材在底部由一堵頭密封形成空腔；金屬背管的管內(nèi)設(shè)置有內(nèi)加熱器，并且，第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材的外部設(shè)置有外加熱器；金屬背管和第一陶瓷旋轉(zhuǎn)靶材之間的空腔內(nèi)澆鑄有低熔點(diǎn)金屬綁定層，現(xiàn)有技術(shù)中的低熔點(diǎn)金屬常用銦。采用這種方式進(jìn)行綁定，在依次綁定各個(gè)靶管的過(guò)程中，內(nèi)加熱器長(zhǎng)期保持加熱狀態(tài)，要制成大尺寸靶材，需要綁定多個(gè)靶管，因此背管與靶管之間的空腔充填了很多銦焊料，這會(huì)導(dǎo)致銦焊料由于重力沖破密封裝置，導(dǎo)致焊料泄漏，而使得綁定失敗。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的現(xiàn)狀提供一種能夠防止焊料沖破密封裝置的旋轉(zhuǎn)靶材垂直綁定裝置。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為：該種旋轉(zhuǎn)靶材的垂直綁定裝置，包括襯管、分段套設(shè)在襯管上的至少兩個(gè)靶管、所述襯管內(nèi)設(shè)有內(nèi)加熱裝置，所述靶管外設(shè)有外加熱裝置；所述內(nèi)加熱裝置沿所述襯管的延伸方向分為獨(dú)立控制的多個(gè)加熱段，所述加熱段與所述靶管一一對(duì)應(yīng)設(shè)置；所述外加熱裝置與所述靶管一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，每個(gè)所述外加熱裝置均為獨(dú)立控制。

為了便于進(jìn)行溫度控制，每個(gè)所述加熱段與第一溫控器對(duì)應(yīng)連接，每個(gè)所述外加熱裝置與第二溫控器對(duì)應(yīng)連接。

優(yōu)選的，所述內(nèi)加熱裝置包括加熱絲卷繞而成的加熱棒，以及套設(shè)在所述加熱棒外的導(dǎo)熱套。通過(guò)導(dǎo)熱套進(jìn)行導(dǎo)熱，加熱更為均勻。

優(yōu)選的，所述外加熱裝置為包覆在對(duì)應(yīng)的所述靶管外側(cè)的加熱套。

為了便于拆卸加熱套，在所述加熱套上設(shè)有可脫開(kāi)的連接結(jié)構(gòu)。

為了便于脫扣連接結(jié)構(gòu)，所述連接結(jié)構(gòu)為對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述加熱套兩端的公魔術(shù)貼和母魔術(shù)貼。

優(yōu)選的，所述加熱段長(zhǎng)度為20-600mm，進(jìn)一步優(yōu)選的，所述加熱段長(zhǎng)度為200-300mm。

當(dāng)生產(chǎn)大尺寸靶材時(shí)，內(nèi)加熱裝置的長(zhǎng)度不足，為了便于提起內(nèi)加熱裝置對(duì)于襯管上端進(jìn)行加熱，所述內(nèi)加熱裝置的上端設(shè)有拉環(huán)。