[實用新型]一種多功能的半導體光罩用支撐裝置

有效

• 申請號: 201921280946.2
• 申請日: 2019-08-08
• 公開（公告）號: CN210270511U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 張勇;閆文軍;孫國標
• 申請（專利權）人: 江蘇壹度科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多功能的半導體光罩用支撐裝置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的頂面靠近前側邊緣處緊密粘接有支柱(2)，所述支柱(2)的頂端緊密粘接有橫梁(3)，所述橫梁(3)的下方從上至下依次設有光罩固定裝置(5)和聚光裝置(4)；所述底板(1)的頂面開設有圓槽(11)，所述圓槽(11)內嵌設有第一玻璃板(13)，所述第一玻璃板(13)上設有晶圓板(12)；所述支柱(2)的后側面上開設有條形槽(21)，所述條形槽(21)內通過軸承轉動連接的設有螺紋桿(22)，所述螺紋桿(22)的頂端穿過所述支柱(2)的頂面，且所述螺紋桿(22)的頂端同軸緊密粘接有調節螺旋(23)；所述聚光裝置(4)包括矩形板(41)，所述矩形板(41)上開設有聚光孔(411)，所述聚光孔(411)內嵌設有凸透鏡(412)，所述矩形板(41)的前側面緊密粘接有滑套(42)，所述滑套(42)與所述支柱(2)滑動連接；所述光罩固定裝置(5)包括固定板(51)和固定板(51)上方的活動板(52)，所述固定板(51)的頂面開設有通孔(512)，所述通孔(512)上嵌設有第二玻璃板(5121)，所述固定板(51)的頂面上對稱緊密粘接有凸耳(511)，所述活動板(52)上開設有凹槽(521)，所述凹槽(521)內嵌設有第三玻璃板(5211)，所述活動板(52)左右側面靠近前端處對稱緊密粘接有轉軸(522)，且所述轉軸(522)與所述凸耳(511)轉動連接；所述固定板(51)的前側面上緊密粘接有滑塊(53)，所述滑塊(53)上開設有螺紋孔(531)，所述螺紋孔(531)與所述螺紋桿(22)螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的多功能的半導體光罩用支撐裝置，其特征在于：所述橫梁(3)的底面設有紫外燈(6)，且所述紫外燈(6)通過燈座與橫梁(3)固定連接。

3.根據權利要求1所述的多功能的半導體光罩用支撐裝置，其特征在于：所述凹槽(521)、所述通孔(512)、所述聚光孔(411)和所述圓槽(11)均位于同一豎直面上。

4.根據權利要求1所述的多功能的半導體光罩用支撐裝置，其特征在于：所述滑套(42)上螺紋連接卡緊螺絲(43)。

5.根據權利要求2所述的多功能的半導體光罩用支撐裝置，其特征在于：所述紫外燈(6)位于所述凹槽(521)的正上方。

6.根據權利要求1所述的多功能的半導體光罩用支撐裝置，其特征在于：所述調節螺旋(23)通過軸承與所述支柱(2)的頂面轉動連接。