[實用新型]一種多功能的半導體光罩用支撐裝置

有效

• 申請號: 201921280946.2
• 申請日: 2019-08-08
• 公開（公告）號: CN210270511U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 張勇;閆文軍;孫國標
• 申請（專利權）人: 江蘇壹度科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及半導體技術領域，具體為一種多功能的半導體光罩用支撐裝置，包括底板，所述底板的頂面靠近前側邊緣處緊密粘接有支柱，所述支柱的頂端緊密粘接有橫梁，所述橫梁的下方從上至下依次設有光罩固定裝置和聚光裝置；該多功能的半導體光罩用支撐裝置通過設有的底板、支柱以及光罩固定裝置等，即紫外燈進行燈光投射，從而透過凸透鏡在晶圓上形成微影成像，同時使用人員可以根據設有的螺紋桿、滑套、滑塊以及條形槽等，便于對光罩固定裝置和聚光裝置的高度進行調節，進而調節了成像的大小，該設計簡單易操作，便于光罩進行曝光，解決了現有的光罩缺少相應的支撐架的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，具體為一種多功能的半導體光罩用支撐裝置。

背景技術

在制作IC的過程中，利用光蝕刻技術，在半導體上形成圖型，為將圖型復制於晶圓上，必須透過光罩作用的原理，光罩又稱光掩模版、掩膜版，其由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設計好的電路圖形通過電子激光設備曝光在感光膠上,被曝光的區域會被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應用于對集成電路進行投影定位，通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻，其生產加工工序為：曝光，顯影，去感光膠，最后應用于光蝕刻；

現有的光罩在進行曝光時，缺少相應的支撐架用于固定光罩，且光罩在進行曝光時，難以對光罩與晶圓之間的距離進行調節，鑒于此，我們提出一種多功能的半導體光罩用支撐裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種多功能的半導體光罩用支撐裝置，以解決上述背景技術中提出的現有的光罩缺少相應的支撐架的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種多功能的半導體光罩用支撐裝置，包括底板，所述底板的頂面靠近前側邊緣處緊密粘接有支柱，所述支柱的頂端緊密粘接有橫梁，所述橫梁的下方從上至下依次設有光罩固定裝置和聚光裝置；所述底板的頂面開設有圓槽，所述圓槽內嵌設有第一玻璃板，所述第一玻璃板上設有晶圓板；所述支柱的后側面上開設有條形槽，所述條形槽內通過軸承轉動連接的設有螺紋桿，所述螺紋桿的頂端穿過所述支柱的頂面，且所述螺紋桿的頂端同軸緊密粘接有調節螺旋；所述聚光裝置包括矩形板，所述矩形板上開設有聚光孔，所述聚光孔內嵌設有凸透鏡，所述矩形板的前側面緊密粘接有滑套，所述滑套與所述支柱滑動連接；所述光罩固定裝置包括固定板和固定板上方的活動板，所述固定板的頂面開設有通孔，所述通孔上嵌設有第二玻璃板，所述固定板的頂面上對稱緊密粘接有凸耳，所述活動板上開設有凹槽，所述凹槽內嵌設有第三玻璃板，所述活動板左右側面靠近前端處對稱緊密粘接有轉軸，且所述轉軸與所述凸耳轉動連接；所述固定板的前側面上緊密粘接有滑塊，所述滑塊上開設有螺紋孔，所述螺紋孔與所述螺紋桿螺紋連接。

優選的，所述橫梁的底面設有紫外燈，且所述紫外燈通過燈座與橫梁固定連接。

優選的，所述凹槽、所述通孔、所述聚光孔和所述圓槽均位于同一豎直面上。

優選的，所述滑套上螺紋連接卡緊螺絲。

優選的，所述紫外燈位于所述凹槽的正上方。

優選的，所述調節螺旋通過軸承與所述支柱的頂面轉動連接。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果：該多功能的半導體光罩用支撐裝置通過設有的底板、支柱以及光罩固定裝置等，即紫外燈進行燈光投射，從而透過凸透鏡在晶圓上形成微影成像，同時使用人員可以根據設有的螺紋桿、滑套、滑塊以及條形槽等，便于對光罩固定裝置和聚光裝置的高度進行調節，進而調節了成像的大小，該設計簡單易操作，便于光罩進行曝光，解決了現有的光罩缺少相應的支撐架的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型中的部分結構示意圖；