[實用新型]單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤

有效

• 申請號: 201921267550.4
• 申請日: 2019-08-07
• 公開（公告）號: CN210110738U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 張云鵬;王玉;趙科巍;魯桂林;梁玲
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L31/18
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

本實用新型涉及單晶PERC生成領域。單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤，包括碗裝的吸盤體、吸盤托、與吸盤體底部一體化連接的吸盤法蘭盤、卡墊，吸盤體底部中心有通孔，卡墊整體為啞鈴狀，卡墊由一體化的上盤、連接柱、下盤構成，下盤為內部中空且充有空氣的橡膠泡（與氣球類似，厚度為1?2mm），連接柱直徑小于通孔直徑且連接柱插入通孔中，上盤和下盤分別卡在通孔的兩端，上盤的直徑比下盤直徑小，彈簧套在連接柱上且彈簧處于下盤與吸盤體底部之間，吸盤體底部的通孔的外側有通氣孔，吸盤體底部的通氣孔的外側有與吸盤體一體化連接的引管。

技術領域

本實用新型涉及單晶PERC生成領域。

背景技術

單晶PERC全稱為發射極及背表面鈍化的太陽能電池，是一種高效的晶硅光伏電池結構，主要生產流程是:制絨—擴散—堿拋—去PSG—氧化—正PECVD—背PECVD—激光—絲網印刷—燒結—測試分選。背PECVD是單晶 PERC 生產線的必備工藝，利用在電池背面形成鈍化層，與薄膜的氫鈍化效應，將硅片的有效載流子壽命從 10-20μs提高到 100-200μs，這樣可以極大地提升電池片的內量子效率，從而提高單晶電池片轉換效率。在電池片生產過程中的自動化設備吸盤吸取硅片時，極易對背鈍化層造成吸盤印。在EL測試中，可以明顯的表現出來，降低硅片背鈍化層的吸盤印比例問題迫在眉睫。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是：如何硅片中減少吸盤印的比例。

本實用新型所采用的技術方案是：單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤，包括碗裝的吸盤體（5）、吸盤托（8）、與吸盤體（5）底部一體化連接的吸盤法蘭盤（4）、卡墊（7），吸盤體（5）底部中心有通孔（10），卡墊（7）整體為啞鈴狀，卡墊（7）由一體化的上盤、連接柱、下盤構成，下盤為內部中空且充有空氣的橡膠泡（與氣球類似，厚度為1-2mm），連接柱直徑小于通孔（10）直徑且連接柱插入通孔（10）中，上盤和下盤分別卡在通孔（10）的兩端，上盤的直徑比下盤直徑小，彈簧（6）套在連接柱上且彈簧（6）處于下盤與吸盤體（5）底部之間，吸盤體（5）底部的通孔（10）的外側有通氣孔（3），吸盤體（5）底部的通氣孔（3）的外側有與吸盤體（5）一體化連接的引管（1），在下盤與吸盤體（5）底部接觸時，通氣孔（3）被下盤堵住，在上盤與吸盤體（5）底部接觸時，通氣孔（3）不被上盤堵住，吸盤托（8）的中部有大量小孔（9）。

吸盤托（8）與吸盤體（5）一體化連接或者沉頭螺栓連接。

吸盤法蘭盤（4）上有法蘭連接孔用于與機械手連接。

引管（1）通過管道連接外界的真空泵。

本實用新型的有益效果是：本實用新型采用帶孔的吸盤托與硅片接觸，增加了接觸面積，減少了接觸面受到的壓力，減少或者避免了吸盤印。本實用新型采用卡墊，等吸盤內部的壓力小于減少時，橡膠泡膨脹，當橡膠泡膨脹到一定程度后，下盤壓緊通氣孔和通孔，吸盤內部的壓力不再減少，避免了吸盤內部壓力過小，吸力過大在硅片上形成吸盤印。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是吸盤托結構示意圖；

圖3是卡墊結構示意圖；

其中，1、引管，2、法蘭連接孔，3、通氣孔，4、吸盤法蘭盤，5、吸盤體，6、彈簧，7、卡墊，8、吸盤托，9、小孔，10、通孔。

具體實施方式