[實用新型]單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤有效
| 申請號: | 201921267550.4 | 申請日: | 2019-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN210110738U | 公開(公告)日: | 2020-02-21 |
| 發明(設計)人: | 張云鵬;王玉;趙科巍;魯桂林;梁玲 | 申請(專利權)人: | 山西潞安太陽能科技有限責任公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
| 地址: | 046000 山*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | perc 鈍化 自動化 設備 吸盤 | ||
1.單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤,其特征在于:包括碗裝的吸盤體(5)、吸盤托(8)、與吸盤體(5)底部一體化連接的吸盤法蘭盤(4)、卡墊(7),吸盤體(5)底部中心有通孔(10),卡墊(7)整體為啞鈴狀,卡墊(7)由一體化的上盤、連接柱、下盤構成,下盤為內部中空且充有空氣的橡膠泡,連接柱直徑小于通孔(10)直徑且連接柱插入通孔(10)中,上盤和下盤分別卡在通孔(10)的兩端,上盤的直徑比下盤直徑小,彈簧(6)套在連接柱上且彈簧(6)處于下盤與吸盤體(5)底部之間,吸盤體(5)底部的通孔(10)的外側有通氣孔(3),吸盤體(5)底部的通氣孔(3)的外側有與吸盤體(5)一體化連接的引管(1),在下盤與吸盤體(5)底部接觸時,通氣孔(3)被下盤堵住,在上盤與吸盤體(5)底部接觸時,通氣孔(3)不被上盤堵住,吸盤托(8)的中部有大量小孔(9)。
2.根據權利要求1所述的單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤,其特征在于:吸盤托(8)與吸盤體(5)一體化連接或者沉頭螺栓連接。
3.根據權利要求1所述的單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤,其特征在于:吸盤法蘭盤(4)上有法蘭連接孔(2)用于與機械手連接。
4.根據權利要求1所述的單晶PERC背鈍化層自動化設備吸盤,其特征在于:引管(1)通過管道連接外界的真空泵。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





