[實用新型]誤差吸收模塊、搬運裝置和檢測設備

有效

• 申請號: 201921265874.4
• 申請日: 2019-08-06
• 公開（公告）號: CN210794859U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 史賽;曹振軍;楊勝利
• 申請（專利權）人: 蘇州華興源創科技股份有限公司
• 主分類號: B65G47/74
• 分類號: B65G47/74;B65G29/00;G01R31/28;G01R1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種誤差吸收模塊、搬運裝置和檢測設備，該誤差吸收模塊包括安裝座；取放機構，與所述安裝座連接，用于收取或者放置工件；導向組件，安裝在所述取放機構底部，對取放機構導向，使取放機構與安裝在取放機構下方的治具對準；旋轉機構，所述旋轉機構設置在所述安裝座與所述取放機構之間，用于在取放機構與治具對準過程中跟隨所述取放機構旋轉，從而吸收取放機構的角度誤差；以及回轉機構，所述回轉機構設置在所述安裝座與所述取放機構之間，以帶動所述取放機構恢復初始位。本實用新型能夠吸收治具的角度誤差，使得安裝稍有誤差的治具，仍可以正常作業，降低了加工件的精度要求，降低了加工成本，同時提高了設備的運行穩定性。

技術領域

本實用新型涉及測試領域，特別涉及一種誤差吸收模塊、搬運裝置和檢測設備。

背景技術

隨著半導體行業的迅速發展，芯片設計、封裝及檢測等行業具有廣闊的應用前景。尤其在芯片的檢測領域中，經常需要精確搬運、放置工件或將工件插入固定型腔中。在芯片搬運過程中，芯片需要由標準治具搬運至測試工位，測試工位上的治具多為加工品且需要頻繁更換，用常規搬運裝置，在更換測試工位的治具后，由于治具的安裝誤差，芯片往往被放偏，造成工程實踐浪費。

為了保證工件的位置精度和檢測效果，現有技術中采用以下兩種通用方式：一種是提高設備的運行、裝配和加工精度，保證工件放置或插入固定型腔時，精度完全在控制范圍內。然而，該方式對設備加工件的加工精度、裝備精度和運行精度都有特別高的要求，造成了加工資源的浪費，同時也導致設備成本增加。另一種方式是采用對位相機對工件進行光學對準，但是增加對位相機同樣導致設備的成本提高。

實用新型內容

本實用新型提供一種誤差吸收模塊、搬運裝置和檢測設備，可以在不增加設備成本的前提下，保證工件的搬運和放置精度。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種誤差吸收模塊，包括：

安裝座，用于與外部機構連接；

取放機構，與所述安裝座連接，用于收取或者放置工件；

導向組件，安裝在所述取放機構底部，對取放機構導向，使取放機構與安裝在取放機構底部的治具對準；

旋轉機構，所述旋轉機構設置在所述安裝座與所述取放機構之間，用于在取放機構與治具對準過程中跟隨所述取放機構旋轉，以吸收取放機構的角度誤差；

以及

回轉機構，所述回轉機構設置在所述安裝座與所述取放機構之間，以帶動所述取放機構恢復初始位。

作為優選，所述導向組件采用底部設置有倒圓錐臺結構的導向銷，所述治具上設置有與所述導向銷對應的導向孔。

作為優選，所述旋轉機構采用交叉滾子軸承，所述交叉滾子軸承的外圈與所述安裝座連接，所述交叉滾子軸承的內圈與所述回轉機構連接。

作為優選，所述回轉機構包括轉接盤和復位結構，其中，所述轉接盤與所述旋轉機構連接，所述復位結構的一端與所述安裝座連接，所述復位結構的另一端與所述轉接盤的邊緣接觸，以便帶動轉接盤復位。

作為優選，所述回轉機構還包括一端與所述安裝座連接的回轉限制銷，所述轉接盤的外周開設有與回轉限制銷的另一端位置對應的回轉限制槽。

作為優選，所述復位結構采用板簧，所述板簧通過板簧座與所述安裝座連接。

作為優選，所述轉接盤的外周開設有板簧限制槽，所述板簧與所述板簧限制槽的一側內壁貼合。

作為優選，所述板簧至少設置有兩組，分別從兩個不同方向對偏移的取放機構進行復位。

本實用新型還提供一種搬運裝置，包括如上所述的誤差吸收模塊。