[實用新型]一種包含光電檢測器的共振掃描器

有效

• 申請號: 201921258121.0
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN210155429U
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 蘇州溢博倫光電儀器有限公司
• 主分類號: G02B27/28
• 分類號: G02B27/28;G02B27/14;G02B26/08;G02B26/10;G01S7/481
• 代理公司: 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217
• 代理人: 陳家輝

本實用新型涉及光電檢測和光學成像的技術領域，具體涉及一種包含光電檢測器的共振掃描器，包括相互固定的驅動器和鏡面，驅動器為共振驅動器，鏡面包括相互固定的超薄片和光電檢測器，光電檢測器位于超薄片和驅動器之間，超薄片上鍍有光學薄膜，光學薄膜位于超薄片上遠離光電檢測器的一端。采用本方案能極大地減小掃描器件內的元件數量，使掃描器件的體積減小，更適用于顯微鏡和內窺鏡的技術要求。

技術領域

本實用新型涉及光電檢測和光學成像的技術領域，具體涉及一種包含光電檢測器的共振掃描器。

背景技術

在激光掃描及光電檢測領域中，如條碼閱讀器，激光掃描顯微鏡和激光雷達(LIDAR)等，往往需要掃描器將光束的方向進行快速改變，投射到被觀測物體上，被觀測物體的反射光或背向散射光或激發出的發射光經透鏡收集后，由光電檢測器完成光電轉換最終實現檢測，所以，掃描系統內部的光束路徑一般如下：光源→掃描器→透鏡(可選)→被觀測物體→透鏡→掃描器(可選)→光電檢測器，對于微型激光雷達模塊或微型掃描顯微鏡(包括超緊湊臺式掃描顯微鏡、手持式掃描顯微鏡、實驗動物頭戴式掃描顯微鏡和內窺鏡等)等對設備體積要求非常高的應用場景來說，上述掃描系統的體積過于龐大，而現有技術也無法通過將所有元件都縮小的方法來實現縮小掃描系統的體積的目的。

實用新型內容

本實用新型意在提供一種包含光電檢測器的共振掃描器，以現有技術中掃描系統過于復雜、掃描器件體積龐大的技術問題。

為達到上述目的，本實用新型采用如下技術方案：一種包含光電檢測器的共振掃描器，包括相互固定的驅動器和鏡面，驅動器為共振驅動器，鏡面包括相互固定的超薄片和光電檢測器，光電檢測器位于超薄片和驅動器之間，超薄片上鍍有光學薄膜，光學薄膜位于超薄片上遠離光電檢測器的一端。

本方案的原理及優點是：1)現有技術是單獨的四個器件分別實現激發光和發射光的分離、改變激發光反射角的角度以實現掃描、濾除激發光和光電轉換的功能；而本方案通過在驅動器的表面設置光電檢測器和光學薄膜，使本方案同時具備上述四個功能，達到了減少掃描器件內的元件的數量，減小掃描器件的體積和重量的目的，形成一個微型掃描器；

2)本方案通過驅動器的設置可以改變鏡面的傾角，達到改變激光的反射角的角度的目的，以實現激發激光對被觀測物體的掃描；且本方案的驅動器采用共振驅動器，其掃描速度可達8KHZ，有利于大幅度提升掃描器件的掃描速度。

優選的，作為一種改進，光學薄膜為偏振分光薄膜和濾光薄膜。

本方案的偏振分光薄膜和濾光薄膜用于反射S線偏振光并透過P線偏振光，適用于應用到微型激光雷達模塊等被觀測物體的反射光和入射光具有相同波長的情況。

優選的，作為一種改進，光學薄膜為二向色鏡薄膜和濾光薄膜。

本方案的二向色鏡薄膜和濾光薄膜用于反射激發光并可供發射光穿過，適用于應用到微型掃描顯微鏡等被觀測物體的激發光和發射光具有不同波長的情況。

優選的，作為一種改進，驅動器的形狀為多邊形或圓形或橢圓形等任意軸對稱形狀。

本方案將驅動器的形狀設計成軸對稱形狀，有利于保證運行驅動器時，驅動器能平穩地為鏡面提供驅動力，使鏡面轉動的角度和幅度更均衡穩定。

優選的，作為一種改進，鏡面的形狀為多邊形或圓形或橢圓形等任意軸對稱形狀。

本方案使得鏡面轉動期間，反射光的角度變化更平穩，有利于更穩定地實現掃描。

優選的，作為一種改進，光電檢測器為光電二極管、光電三極管、真空光電管或二維像素光電傳感器。

本方案的光電檢測器可以根據實際需求選擇不同的光敏元件，適用性更強，通用性更佳。

優選的，作為一種改進，光電二極管為雪崩光電二極管。