[實用新型]一種包含光電檢測器的共振掃描器有效
| 申請號： | 201921258121.0 | 申請日： | 2019-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN210155429U | 公開（公告）日： | 2020-03-17 |
| 發明（設計）人： | 不公告發明人 | 申請（專利權）人： | 蘇州溢博倫光電儀器有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/28 | 分類號： | G02B27/28;G02B27/14;G02B26/08;G02B26/10;G01S7/481 |
| 代理公司： | 重慶強大凱創專利代理事務所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 陳家輝 |
| 地址： | 215011 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 包含 光電 檢測器 共振 掃描器 | ||
1.一種包含光電檢測器的共振掃描器，包括相互固定的驅動器和鏡面，其特征在于：所述驅動器為共振驅動器，所述鏡面包括相互固定的超薄片和光電檢測器，光電檢測器位于超薄片和驅動器之間，所述超薄片上鍍有光學薄膜，光學薄膜位于超薄片上遠離光電檢測器的一端。
2.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述光學薄膜為偏振分光薄膜和濾光薄膜。
3.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述光學薄膜為二向色鏡薄膜和濾光薄膜。
4.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述驅動器的形狀為多邊形或圓形或橢圓形等任意軸對稱形狀。
5.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述鏡面的形狀為多邊形或圓形或橢圓形等任意軸對稱形狀。
6.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述光電檢測器為光電二極管、光電三極管、真空光電管或二維像素光電傳感器。
7.根據權利要求6所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述光電二極管為雪崩光電二極管。
8.根據權利要求6所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述二維像素光電傳感器為光電耦合器件、金屬半導體氧化物器件、焦平面陣器件、光電倍增管器件或單光子計數器件。
9.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述驅動器的側面固定設有扭轉梁。
10.根據權利要求1所述的一種包含光電檢測器的共振掃描器，其特征在于：所述驅動器為矩形。
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