[實用新型]一種用于晶體生長的稱量裝置

有效

• 申請號: 201921252030.6
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210529103U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 胡衛東;楊利濤;劉侃;王冬
• 申請（專利權）人: 合肥嘉東光學股份有限公司
• 主分類號: C30B15/28
• 分類號: C30B15/28;C30B15/30
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 黃樂瑜

本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，通過設置驅動組件驅動內轉盤轉動，內轉盤轉動從而帶動伸縮桿轉動，伸縮桿轉動從而帶動套筒轉動，套筒與螺桿螺紋連接使轉動地套筒可沿螺桿的長度方向移動以帶動稱量傳感器與籽晶桿移動，從而實現籽晶桿在提升的過程中旋轉，提高溫度場徑向對稱性，長處幾何對稱性的晶體，而且根據稱量傳感器所檢測的重量信息，驅動組件驅動內轉盤改變轉速改變晶體的直徑和提升速度以適應不同的要求。

技術領域

本實用新型涉及晶體生長設備技術領域，具體涉及一種用于晶體生長的稱量裝置。

背景技術

晶體生長爐是利用籽晶制造晶體的設備。晶體的提拉速度影響晶體的生長情況，如申請號為201710224445.1的中國專利，利用坩堝內的裝料總重量和稱量的晶體重量，得到坩堝內的剩余料重量，來控制坩堝提升機構的提升速度，避免鍋跟比過小或者過大影響晶體生長。但并沒有溫度場的徑向不對稱性，導致生長的晶體幾何不對稱。

實用新型內容

基于背景技術存在的技術問題，本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，以便于提高溫度場的徑向對稱性。

本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，包括兩個支架、固定板、轉盤、螺桿、連接件、至少一個伸縮桿、套筒、稱量傳感器和籽晶桿；

兩個支架對稱布置，固定板設在兩個支架之間，固定板兩端分別與對應的支架固定連接，轉盤包括可相對轉動的內轉盤和外轉盤，外轉盤固定在固定板上表面，驅動組件驅動連接內轉盤以驅動轉盤沿自身軸線轉動；

內轉盤上設有同軸設置的第一通孔，固定板上設有與第一通孔同軸設置的第二通孔，伸縮桿第一端與內轉盤第二端固定連接，伸縮桿第二端穿過第二通孔與套筒第一端固定連接，套筒為第一端開口的中空結構，套筒內周壁設有內螺紋；

螺桿第一端與連接件固定連接，連接件與至少一個支架滑動連接，螺桿第二端穿過第一通孔和第二通孔并伸入到套筒內部并與套筒內周壁的內螺紋螺紋連接，套筒第二端與稱量傳感器固定連接，稱量傳感器底部與籽晶桿可拆卸固定，籽晶桿、稱量傳感器和套筒同軸設置。

優選地，螺桿第二端設有限位板，套筒的中空結構的第二端擴容形成用于容納限位板且使限位板不脫出的限位腔。

優選地，還包括控制器，稱重傳感器信號連接控制器，控制器控制連接驅動組件

優選地，驅動組件包括電機和齒輪，內轉盤第一端凸出于外轉盤，且內轉盤第一端沿周向設有外齒，電機安裝在連接板上，電機的輸出軸固定有齒輪，齒輪與外齒嚙合，控制器控制連接電機。

優選地，第二通孔的直徑大于第一通孔的直徑且小于外轉盤的外徑。

優選地，第二通孔的直徑大于第一通孔的直徑且小于內轉盤的外徑。

本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，具有以下有益效果：

(1)通過設置驅動組件驅動內轉盤轉動，內轉盤轉動從而帶動伸縮桿轉動，伸縮桿轉動從而帶動套筒轉動，套筒與螺桿螺紋連接使轉動地套筒可沿螺桿的長度方向移動以帶動稱量傳感器與籽晶桿移動，從而實現籽晶桿在提升的過程中旋轉，提高溫度場徑向對稱性，長處幾何對稱性的晶體。

(2)根據稱量傳感器所檢測的重量信息，驅動組件驅動內轉盤改變轉速改變晶體的直徑和提升速度以適應不同的要求。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置的結構示意圖。

具體實施方式

參照圖1，本實用新型提出的一種用于晶體生長的稱量裝置，包括兩個支架1、固定板2、轉盤3、螺桿6、連接件7、至少一個伸縮桿4、套筒5、稱量傳感器8和籽晶桿9；