[實用新型]一種用于晶體生長的稱量裝置有效
| 申請號: | 201921252030.6 | 申請日: | 2019-08-02 |
| 公開(公告)號: | CN210529103U | 公開(公告)日: | 2020-05-15 |
| 發明(設計)人: | 胡衛東;楊利濤;劉侃;王冬 | 申請(專利權)人: | 合肥嘉東光學股份有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/28 | 分類號: | C30B15/28;C30B15/30 |
| 代理公司: | 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 黃樂瑜 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 晶體生長 稱量 裝置 | ||
1.一種用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,包括兩個支架(1)、固定板(2)、轉盤、螺桿(6)、連接件(7)、至少一個伸縮桿(4)、套筒(5)、稱量傳感器(8)和籽晶桿(9);
兩個支架(1)對稱布置,固定板(2)設在兩個支架(1)之間,固定板(2)兩端分別與對應的支架(1)固定連接,轉盤(3)包括可相對轉動的內轉盤(31)和外轉盤(32),外轉盤(32)固定在固定板(2)上表面,驅動組件驅動連接內轉盤(31)以驅動內轉盤(31)沿自身軸線轉動;
內轉盤(31)上設有同軸設置的第一通孔,固定板(2)上設有與第一通孔同軸設置的第二通孔,伸縮桿(4)第一端與內轉盤(31)第二端固定連接,伸縮桿(4)第二端穿過第二通孔與套筒(5)第一端固定連接,套筒(5)為第一端開口的中空結構,套筒(5)內周壁設有內螺紋;
螺桿(6)第一端與連接件(7)固定連接,連接件(7)與至少一個支架(1)滑動連接,螺桿(6)第二端穿過第一通孔和第二通孔并伸入到套筒(5)內部并與套筒(5)內周壁的內螺紋螺紋連接,套筒(5)第二端與稱量傳感器(8)固定連接,稱量傳感器(8)底部與籽晶桿(9)可拆卸固定,籽晶桿(9)、稱量傳感器(8)和套筒(5)同軸設置。
2.根據權利要求1所述的用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,螺桿(6)第二端設有限位板,套筒(5)的中空結構的第二端擴容形成用于容納限位板且使限位板不脫出的限位腔。
3.根據權利要求1所述的用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,還包括控制器,稱重傳感器信號連接控制器,控制器控制連接驅動組件。
4.根據權利要求1所述的用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,驅動組件包括電機和齒輪,內轉盤(31)第一端凸出于外轉盤(32),且內轉盤(31) 第一端沿周向設有外齒,電機安裝在連接板上,電機的輸出軸固定有齒輪,齒輪與外齒嚙合,控制器控制連接電機。
5.根據權利要求1所述的用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,第二通孔的直徑大于第一通孔的直徑且小于外轉盤(32)的外徑。
6.根據權利要求5所述的用于晶體生長的稱量裝置,其特征在于,第二通孔的直徑大于第一通孔的直徑且小于內轉盤(31)的外徑。
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