[實用新型]質譜檢漏設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921242709.7
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210426899U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設計）人: 龍超祥
• 申請（專利權）人: 深圳市遠望工業(yè)自動化設備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271
• 代理人: 孫大勇

本實用新型提供一種質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，質譜檢漏設備包括：支撐架、真空腔體、升降機構、抽氣機構、示蹤氣體源、充氣機構、質譜檢漏裝置及控制裝置。真空腔體設置為至少兩個，且各真空腔體均放置在支撐架上，各真空腔體內設置有用于容納待測箱體的容納腔。升降機構設用于分別驅動所對應的各真空腔體的結合與分離。示蹤氣體源用于向待測箱體提供示蹤氣體。質譜檢漏裝置與真空腔體導通連接，用于檢測容納腔內的示蹤氣體含量，從而判斷待測箱體是否合格。控制裝置與升降機構、抽氣機構、示蹤氣體源、充氣機構及質譜檢漏裝置電連接以控制各自的工作。本實用新型質譜檢漏設備的檢漏耗時減少，工作效率提高。

技術領域

本實用新型涉及箱體密封性檢測技術領域，尤其涉及質譜檢漏設備。

背景技術

質譜檢漏技術已在科研和工業(yè)部門得到廣泛應用,其主要優(yōu)點是可在各種檢測工況條件下實現(xiàn)泄漏率的定量檢測,且其檢漏分辨率高、測量范圍廣,特別適用于微小泄漏率的精確測定。然而現(xiàn)有技術的質譜檢漏設備由于只設有一個真空腔體，因此，每次檢漏操作只能針對一個待測箱體進行，且針對待測箱體的檢漏操作前的裝配和檢漏操作后的拆卸需要較多耗時，因此，既無法實現(xiàn)對兩個或更多待測箱體的批量化檢漏操作，也無法實現(xiàn)檢漏操作與待測箱體裝拆的同時進行，造成現(xiàn)有質譜檢漏設備檢漏耗時較多，工作效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種質譜檢漏設備，用以解決現(xiàn)有質譜檢漏設備的檢漏耗時較多，工作效率低的問題。

本實用新型提供一種質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，質譜檢漏設備包括：支撐架、真空腔體、升降機構、抽氣機構、示蹤氣體源、充氣機構、質譜檢漏裝置及控制裝置。真空腔體設置為至少兩個，且各真空腔體均放置在支撐架上，各真空腔體內設置有用于容納待測箱體的容納腔。升降機構設于支撐架上且升降機構的數(shù)量與真空腔體的數(shù)量相對應，以用于分別驅動所對應的各真空腔體的結合與分離。示蹤氣體源用于向待測箱體提供示蹤氣體。質譜檢漏裝置與真空腔體導通連接，用于檢測容納腔內的示蹤氣體含量，從而判斷待測箱體是否合格。控制裝置與升降機構、抽氣機構、示蹤氣體源、充氣機構及質譜檢漏裝置電連接以控制各自的工作。

進一步的，真空腔體由成對設置的上蓋體和下蓋體形成，當上蓋體蓋設在下蓋體上，上蓋體與下蓋體之間密封形成容納腔。下蓋體包括相互連接的支撐座和支撐板組件，支撐座對應上蓋體設置并用于承載支撐板組件，支撐板組件用于承載待測箱體。上蓋體固定在支撐架上方，對應的下蓋體在升降機構的驅動下與上蓋體固定或脫離。

更進一步的，抽氣機構具有與各容納腔對應導通連接的至少兩個抽氣端，充氣機構的第一輸入端與示蹤氣體源導通連接，充氣機構設有與各容納腔對應的并與各容納腔中的待測箱體導通連接的至少兩個第一輸出端，控制裝置用于控制充氣機構對待測箱體的充氣，質譜檢漏裝置設有與各容納腔對應的并與真空腔體導通連接的至少兩個第二輸入端，質譜檢漏裝置用于檢測容納腔內的示蹤氣體含量，從而判斷待測箱體是否合格。

再進一步的，質譜檢漏設備還包括：用于選擇性地將抽氣機構與一個容納腔相連通的至少一個第一換向閥；用于選擇性地將充氣機構與一個待測箱體相連通的至少一個第二換向閥；以及用于選擇性地將質譜檢漏裝置與一個容納腔相連通的至少一個第三換向閥。

又進一步的，控制裝置根據(jù)質譜檢漏裝置的檢測結束信號控制下蓋體與上蓋體的脫離，控制裝置根據(jù)支撐板組件的承載判斷信號控制下蓋體與上蓋體的固定。

再更進一步的，控制裝置交替控制至少兩個真空腔體的結合與分離，以使得至少一對下蓋體與上蓋體固定且至少一對下蓋體與上蓋體脫離。