[實用新型]質譜檢漏設備

有效

• 申請號: 201921242709.7
• 申請日: 2019-08-02
• 公開（公告）號: CN210426899U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 龍超祥
• 申請（專利權）人: 深圳市遠望工業自動化設備有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 深圳市惠邦知識產權代理事務所 44271
• 代理人: 孫大勇

1.質譜檢漏設備，用于檢測待測箱體的氣密性，其特征在于：

所述質譜檢漏設備包括：支撐架、真空腔體、升降機構、抽氣機構、示蹤氣體源、充氣機構、質譜檢漏裝置及控制裝置；

所述真空腔體設置為至少兩個，且各所述真空腔體均放置在所述支撐架上，各所述真空腔體內設置有用于容納所述待測箱體的容納腔；

所述升降機構設于所述支撐架上且所述升降機構的數量與所述真空腔體的數量相對應，以用于分別驅動所對應的各所述真空腔體的結合與分離；

所述示蹤氣體源用于向所述待測箱體提供示蹤氣體；

所述質譜檢漏裝置與所述真空腔體導通連接，用于檢測容納腔內的所述示蹤氣體含量，從而判斷所述待測箱體是否合格；

所述控制裝置與所述升降機構、所述抽氣機構、所述示蹤氣體源、所述充氣機構及所述質譜檢漏裝置電連接以控制各自的工作。

2.根據權利要求1所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述真空腔體由成對設置的上蓋體和下蓋體形成，當所述上蓋體蓋設在所述下蓋體上，所述上蓋體與所述下蓋體之間密封形成所述容納腔；

所述下蓋體包括相互連接的支撐座和支撐板組件，所述支撐座對應所述上蓋體設置并用于承載所述支撐板組件，所述支撐板組件用于承載所述待測箱體；

所述上蓋體固定在所述支撐架上方，對應的所述下蓋體在所述升降機構的驅動下與所述上蓋體固定或脫離。

3.根據權利要求2所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述抽氣機構具有與各所述容納腔及對應容納于其中的所述待測箱體分別導通連接的至少兩個抽氣端，所述充氣機構的第一輸入端與所述示蹤氣體源導通連接，所述充氣機構設有與各所述容納腔對應的并與各所述容納腔中的所述待測箱體導通連接的至少兩個第一輸出端，所述控制裝置用于控制所述充氣機構對所述待測箱體的充氣，所述質譜檢漏裝置設有與各所述容納腔對應的并與所述真空腔體導通連接的至少兩個第二輸入端，所述質譜檢漏裝置用于檢測所述容納腔內的所述示蹤氣體含量，從而判斷所述待測箱體是否合格。

4.根據權利要求3所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述質譜檢漏設備還包括：

用于選擇性地將所述抽氣機構與一個所述容納腔及對應的所述待測箱體相連通的至少一個第一換向閥；

用于選擇性地將所述充氣機構與一個所述待測箱體相連通的至少一個第二換向閥；

用于選擇性地將所述質譜檢漏裝置與所述一個所述容納腔相連通的至少一個第三換向閥。

5.根據權利要求4所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述控制裝置根據所述質譜檢漏裝置的檢測結束信號控制所述下蓋體與所述上蓋體的脫離，所述控制裝置根據所述支撐板組件的承載判斷信號控制所述下蓋體與所述上蓋體的固定。

6.根據權利要求5所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述控制裝置交替控制所述至少兩個真空腔體的結合與分離，以使得至少一對所述下蓋體與所述上蓋體固定且至少一對所述下蓋體與所述上蓋體脫離。

7.根據權利要求6所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述真空腔體設置為包括第一真空腔體和第二真空腔體的兩個，所述抽氣端、所述第一輸出端和所述第一輸入端均為兩個，當所述控制裝置控制第一真空腔體處于結合狀態且第二真空腔體處于分離狀態時，所述控制裝置控制所述第一換向閥僅開啟抽氣機構與所述第一真空腔體的容納腔及對應的所述待測箱體的連通，再所述控制裝置控制所述第一換向閥僅開啟所述充氣機構與所述第一真空腔體中的所述待測箱體的連通，隨后所述控制裝置控制所述第二換向閥僅開啟所述質譜檢漏裝置與所述第一真空腔體的連通。

8.根據權利要求7所述的質譜檢漏設備，其特征在于：

所述質譜檢漏設備還在第一換向閥和第一真空腔體之間設置有一調節閥，所述控制裝置與所述調節閥電連接以控制所述充氣機構提供給所述第一真空腔體中的所述待測箱體的示蹤氣體氣量。