[實(shí)用新型]一種全自動(dòng)晶片清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921230901.4
• 申請(qǐng)日: 2019-08-01
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210546730U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 竇功祿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安拉姆達(dá)電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/08;B08B3/04;B08B13/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種全自動(dòng)晶片清洗機(jī),其特征在于:由排列一起的多個(gè)洗液槽、位于洗液槽上方的網(wǎng)框移動(dòng)裝置和控制裝置組成；

所述多個(gè)洗液槽,有排列在一起裝有化學(xué)劑洗液的化學(xué)劑洗槽（1）和裝有純水的水洗槽（3）；相鄰的兩個(gè)化學(xué)劑洗槽（1）之間的底部有收集口（A），便于處理和回收化學(xué)洗液;相鄰水洗槽（3），內(nèi)裝的是純水洗液，水洗槽（3）底部有排水口（B）,端部的水洗槽上部有進(jìn)水口；

所述網(wǎng)框移動(dòng)裝置,由位于化學(xué)劑洗槽（1）、水洗槽（3）上方的水平導(dǎo)軌(C)和上端與水平導(dǎo)軌（C）連接的垂直導(dǎo)軌(Y)構(gòu)成，垂直導(dǎo)軌(Y)的下端固定有網(wǎng)框,網(wǎng)框用于裝載被清洗的晶片；

所述控制裝置,有計(jì)算機(jī)和多個(gè)超聲儀,計(jì)算機(jī)用于控制網(wǎng)框移動(dòng)裝置，使垂直導(dǎo)軌(Y)和裝載晶片的網(wǎng)框沿水平導(dǎo)軌（C）左右移動(dòng)或使網(wǎng)框在水平導(dǎo)軌（C）之下方上下拋動(dòng)；計(jì)算機(jī)通過(guò)溫度傳感器和超聲儀控制洗液槽內(nèi)的洗液溫度；多個(gè)超聲儀分別安裝在各洗液槽內(nèi)，通過(guò)洗液槽的洗液對(duì)晶片實(shí)現(xiàn)超聲波洗滌。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)晶片清洗機(jī),其特征在于:所述洗液槽，為左右橫向排列的五個(gè)洗液槽,其中左側(cè)的兩個(gè)相鄰洗液槽為化學(xué)劑洗槽（1），分別裝有化學(xué)洗液,相鄰化學(xué)劑洗槽（1）的底部設(shè)有收集口(A),用于處理和回收化學(xué)洗液;右側(cè)的三個(gè)相鄰洗液槽為水洗槽（3）,內(nèi)裝純水洗液，位于其左端的水洗槽（3)之底那有排水口(B),上方取料。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述全自動(dòng)晶片清洗機(jī),其特征在于:所述右側(cè)的三個(gè)相鄰的純水洗槽（3),三者自左向右依次增高。