[實(shí)用新型]晶圓轉(zhuǎn)移裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921214226.6
• 申請(qǐng)日: 2019-07-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209993585U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃斌;趙開(kāi)乾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 31237 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 屈蘅

本實(shí)用新型提供了一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置，包括移動(dòng)模塊以及設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上的多個(gè)夾持端，多個(gè)所述夾持端圍合成一虛擬圓，且所述夾持端能夠沿所述虛擬圓的徑向運(yùn)動(dòng)以?shī)A緊或松開(kāi)所述晶圓。接收晶圓后，所述夾持端朝靠近所述虛擬圓中心的方向運(yùn)動(dòng)以?shī)A緊所述晶圓，保證所述晶圓在傳送過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生偏移，在釋放晶圓時(shí)，所述夾持端朝遠(yuǎn)離所述虛擬圓中心的方向運(yùn)動(dòng)以松開(kāi)所述晶圓，從而保證所述晶圓在轉(zhuǎn)移過(guò)程中不會(huì)發(fā)生偏移，以使晶圓的中心能夠?qū)?zhǔn)預(yù)定中心位置，不會(huì)影響下一工藝的加工質(zhì)量，進(jìn)而提高晶圓良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造工藝中，很多時(shí)候需要利用機(jī)械手臂來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的取放以及運(yùn)輸，機(jī)械手臂上設(shè)置有承載裝置，用于承載晶圓，一般為了能夠更好地容納所述晶圓，所述承載裝置的承載面的直徑要略大于所述晶圓的直徑，使得機(jī)械手臂動(dòng)作時(shí)所述晶圓會(huì)在承載裝置的承載面上發(fā)生前后方向或左右方向的偏移(甚至從所述承載面上掉落)，使得所述晶圓放置后沒(méi)有處于預(yù)定位置，即晶圓的中心沒(méi)有對(duì)準(zhǔn)預(yù)定中心位置，在某些對(duì)晶圓位置精度要求較高的工藝，會(huì)造成無(wú)法挽回的損失。

例如，如圖1及圖2所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的晶圓轉(zhuǎn)移裝置中晶圓處于預(yù)定位置的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，機(jī)械手臂10的執(zhí)行端呈圓形，執(zhí)行端內(nèi)壁上設(shè)置有四個(gè)支撐塊20，晶圓30設(shè)置于四個(gè)所述支撐塊20上且中心與圓形的所述執(zhí)行端的中心重合，使得所述晶圓處于預(yù)定位置，當(dāng)機(jī)械手臂10在移動(dòng)所述晶圓30時(shí)，由于四個(gè)所述支撐塊20形成的承載面的直徑較所述晶圓30的直徑大(例如，所述晶圓30的直徑為300mm，四個(gè)所述支撐塊20形成的承載面的直徑為300.4mm)，機(jī)械手臂10在動(dòng)作時(shí)產(chǎn)生的慣性勢(shì)能使所述晶圓30偏離所述預(yù)定位置，具體如圖2所示，所述晶圓30設(shè)置于四個(gè)所述支撐塊20上且中心與圓形的所述執(zhí)行端的中心不重合(向右偏移)，使得所述晶圓不處于預(yù)定位置。晶圓的定位不準(zhǔn)將會(huì)影響到后續(xù)的工藝，甚至使所述晶圓報(bào)廢，降低了晶圓的良率。因此，需要設(shè)計(jì)一種能夠使晶圓在取送過(guò)程中保持固定的承載裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置，能夠使晶圓在傳送過(guò)程中不會(huì)偏移，提高晶圓的良率。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置，包括：

移動(dòng)模塊；以及

設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上的多個(gè)夾持端，多個(gè)所述夾持端圍合成一虛擬圓，且所述夾持端能夠沿所述虛擬圓徑向運(yùn)動(dòng)以?shī)A緊或松開(kāi)所述晶圓。

進(jìn)一步，所述夾持端的一端設(shè)置在所述移動(dòng)模塊上，另一端沿面向所述虛擬圓中心的方向延伸，且所述夾持端的所述另一端呈弧形。

進(jìn)一步，所述夾持端的所述另一端的弧度與所述晶圓的晶邊的弧度相匹配。

進(jìn)一步，至少兩個(gè)所述夾持端的底部設(shè)置有一承載部，所述承載部從所述夾持端延伸至所述晶圓的背面以承載所述晶圓。

進(jìn)一步，多個(gè)所述夾持端為三個(gè)；或者，所述夾持端為至少兩對(duì)，每對(duì)所述夾持端關(guān)于所述虛擬圓的中心對(duì)稱設(shè)置。

進(jìn)一步，多個(gè)所述夾持端沿所述虛擬圓的周向均勻分布。

進(jìn)一步，所述晶圓轉(zhuǎn)移裝置還包括多個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上的驅(qū)動(dòng)件，一個(gè)驅(qū)動(dòng)件連接一個(gè)所述夾持端，以驅(qū)動(dòng)所述夾持端運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步，所述驅(qū)動(dòng)件為氣缸，所述氣缸的固定端設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上，所述氣缸的活塞桿與所述夾持端連接。

進(jìn)一步，所述移動(dòng)模塊包括動(dòng)力單元及移動(dòng)臂，所述動(dòng)力單元用于帶動(dòng)所述移動(dòng)臂運(yùn)動(dòng)，多個(gè)所述夾持端設(shè)置于所述移動(dòng)臂上。

進(jìn)一步，所述移動(dòng)模塊還包括多個(gè)沿所述虛擬圓徑向設(shè)置的滑槽，所述夾持端位于所述滑槽內(nèi)并能夠沿所述滑槽運(yùn)動(dòng)。