[實(shí)用新型]晶圓轉(zhuǎn)移裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921214226.6
• 申請(qǐng)日: 2019-07-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209993585U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃斌;趙開(kāi)乾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 31237 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 屈蘅

1.一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置，用于轉(zhuǎn)移一晶圓，其特征在于，包括：

移動(dòng)模塊；以及

設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上的多個(gè)夾持端，多個(gè)所述夾持端圍合成一虛擬圓，且所述夾持端能夠沿所述虛擬圓徑向運(yùn)動(dòng)以?shī)A緊或松開(kāi)所述晶圓。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述夾持端的一端設(shè)置在所述移動(dòng)模塊上，另一端沿面向所述虛擬圓中心的方向延伸，且所述夾持端的所述另一端呈弧形。

3.如權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述夾持端的所述另一端的弧度與所述晶圓的晶邊的弧度相匹配。

4.如權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，至少兩個(gè)所述夾持端的底部設(shè)置有一承載部，所述晶圓設(shè)置于所述承載部上。

5.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，多個(gè)所述夾持端為三個(gè)；或者，所述夾持端為至少兩對(duì)，每對(duì)所述夾持端關(guān)于所述虛擬圓的中心對(duì)稱(chēng)設(shè)置。

6.如權(quán)利要求1或5所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，多個(gè)所述夾持端沿所述虛擬圓的周向均勻分布。

7.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述晶圓轉(zhuǎn)移裝置還包括多個(gè)設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上的驅(qū)動(dòng)件，一個(gè)驅(qū)動(dòng)件連接一個(gè)所述夾持端，以驅(qū)動(dòng)所述夾持端沿所述虛擬圓徑向運(yùn)動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件為氣缸，所述氣缸的固定端設(shè)置于所述移動(dòng)模塊上，所述氣缸的活塞桿與所述夾持端連接。

9.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移動(dòng)模塊包括動(dòng)力單元及移動(dòng)臂，所述動(dòng)力單元用于帶動(dòng)所述移動(dòng)臂運(yùn)動(dòng)，多個(gè)所述夾持端設(shè)置于所述移動(dòng)臂上。

10.如權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移動(dòng)模塊還包括多個(gè)沿所述虛擬圓徑向設(shè)置的滑槽，所述夾持端位于所述滑槽內(nèi)并能夠沿所述滑槽運(yùn)動(dòng)。