[實(shí)用新型]可擴(kuò)展的量子芯片封裝盒結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921167618.1 | 申請日: | 2019-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN210200684U | 公開(公告)日: | 2020-03-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 梁福田;龔明;鄧輝;吳玉林;彭承志;朱曉波;潘建偉 | 申請(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/56 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 馬莉 |
| 地址: | 230026 安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 擴(kuò)展 量子 芯片 封裝 結(jié)構(gòu) | ||
一種可擴(kuò)展的量子芯片封裝盒結(jié)構(gòu),封裝盒結(jié)構(gòu)包括:底座,其上設(shè)置有凸臺;PCB板,位于所述底座的凸臺之上,用于放置量子芯片;上蓋,對應(yīng)所述底座的凸臺位置設(shè)置有凹槽,該凹槽的深度滿足在所述底座上放置PCB板之后與所述上蓋緊密貼合;以及二維孔陣列,設(shè)置于底座和上蓋中的至少一個之上,垂直于PCB板所在平面,并與PCB板的信號層電性連接,用于安裝信號連接器接頭。在垂直于PCB板的方向上實(shí)現(xiàn)信號連接器的安裝與焊接,采用的二維孔陣列具有可擴(kuò)展的優(yōu)良性質(zhì),連接方式高效且便于擴(kuò)展,具有可擴(kuò)展的高密度接線,實(shí)現(xiàn)了高集成度,解決了現(xiàn)有技術(shù)中封裝結(jié)構(gòu)的可安裝接頭少、連接方式低效難以擴(kuò)展的基本技術(shù)問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本公開屬于量子芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種可擴(kuò)展的量子芯片封裝盒結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
在超導(dǎo)量子計(jì)算的實(shí)現(xiàn)方案中,將量子處理器與外圍電路進(jìn)行連接是不可缺少的一個步驟。超導(dǎo)量子處理器封裝盒體是與量子處理器進(jìn)行連接的第一級裝置。如何將超導(dǎo)量子處理器的各類性能管腳進(jìn)行連接、扇出,并保證盡量小的減少對線路上信號性能的干擾就成為了業(yè)界的設(shè)計(jì)難題。
量子芯片的電路尺寸為微米量級,而外圍電路的尺寸為毫米或厘米量級,因此如何通過轉(zhuǎn)接電路進(jìn)行高效的轉(zhuǎn)接就成了至關(guān)重要的問題。現(xiàn)有技術(shù)通常從封裝盒側(cè)面安裝接頭,可安裝的接頭數(shù)量少,浪費(fèi)了樣品和底部的大量空間。隨著量子比特?cái)?shù)目的不斷增加,原來低效率的連接方式難以擴(kuò)展,難以實(shí)現(xiàn)高密度的接線,因此需要使用新的封裝方式來實(shí)現(xiàn)高集成度、可擴(kuò)展的量子芯片連接。
量子芯片中量子比特的狀態(tài)十分脆弱,如果不進(jìn)行有效地保護(hù),容易受到環(huán)境的干擾而產(chǎn)生退相干,為了保證量子芯片高性能、穩(wěn)定地工作,需要設(shè)計(jì)可靠的封裝結(jié)構(gòu)對量子芯片進(jìn)行特殊保護(hù),避免量子芯片收到外界環(huán)境噪聲的影響。
量子芯片工作在GHz量級的微波頻段,需要輸入和輸出高精度的微波信號對量子芯片進(jìn)行測量和操縱,而芯片與封裝盒的鍵合方式,信號的轉(zhuǎn)接和輸出方式都會影響到信號的傳輸性能,因此如何優(yōu)化鍵合方式以及轉(zhuǎn)接線路以及和外部連接器的連接方式來提高信號的質(zhì)量成了至關(guān)重要的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題
本公開提供了一種可擴(kuò)展的量子芯片封裝盒結(jié)構(gòu),以至少部分解決以上所提出的技術(shù)問題。
(二)技術(shù)方案
根據(jù)本公開的一個方面,提供了一種可擴(kuò)展的量子芯片封裝盒結(jié)構(gòu),包括:底座8,其上設(shè)置有凸臺;PCB板6,位于所述底座8的凸臺之上,用于放置量子芯片5;上蓋1,對應(yīng)所述底座8的凸臺位置設(shè)置有凹槽,該凹槽的深度滿足在所述底座8上放置PCB板6之后與所述上蓋1緊密貼合,該上蓋1與底座8相對一面的尺寸大小相匹配使得二者貼合后邊緣對齊;以及二維孔陣列2,設(shè)置于底座8和上蓋1中的至少一個之上,垂直于PCB板6所在平面,并與PCB板6的信號層電性連接,用于安裝信號連接器接頭。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述底座8上具有第二開孔,該第二開孔的位置與待放置的量子芯片5對齊,對應(yīng)在第二開孔的位置還設(shè)置有第二密封蓋7。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述第二開孔的尺寸滿足:能夠容納待放置的量子芯片5通過。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述上蓋1上具有第一開窗,該第一開窗的位置與待放置的量子芯片5對齊,用于觀察封裝盒內(nèi)部情況,對應(yīng)在第一開窗的位置還設(shè)置有第一密封蓋4。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述PCB板6之上具有開孔,量子芯片5放置于該開孔之中。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述PCB板6上的開孔的形狀與量子芯片5的形狀匹配。
在本公開的一些實(shí)施例中,所述PCB板6的正面設(shè)置有信號線焊點(diǎn)與接地焊點(diǎn),用于量子芯片5與PCB板6之間的引線。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





