[實用新型]可擴展的量子芯片封裝盒結構有效
| 申請號: | 201921167618.1 | 申請日: | 2019-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN210200684U | 公開(公告)日: | 2020-03-27 |
| 發明(設計)人: | 梁福田;龔明;鄧輝;吳玉林;彭承志;朱曉波;潘建偉 | 申請(專利權)人: | 中國科學技術大學 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/56 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 馬莉 |
| 地址: | 230026 安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 擴展 量子 芯片 封裝 結構 | ||
1.一種可擴展的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,包括:
底座(8),其上設置有凸臺;
PCB板(6),位于所述底座(8)的凸臺之上,用于放置量子芯片(5);
上蓋(1),對應所述底座(8)的凸臺位置設置有凹槽,該凹槽的深度滿足在所述底座(8)上放置PCB板(6)之后與所述上蓋(1)緊密貼合,該上蓋(1)與底座(8)相對一面的尺寸大小相匹配使得二者貼合后邊緣對齊;以及
二維孔陣列(2),設置于底座(8)和上蓋(1)中的至少一個之上,垂直于PCB板(6)所在平面,并與PCB板(6)的信號層電性連接,用于安裝信號連接器接頭。
2.根據權利要求1所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述底座(8)上具有第二開孔,該第二開孔的位置與待放置的量子芯片(5)對齊,對應在第二開孔的位置還設置有第二密封蓋(7)。
3.根據權利要求2所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述第二開孔的尺寸滿足:能夠容納待放置的量子芯片(5)通過。
4.根據權利要求1所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述上蓋(1)上具有第一開窗,該第一開窗的位置與待放置的量子芯片(5)對齊,用于觀察封裝盒內部情況,對應在第一開窗的位置還設置有第一密封蓋(4)。
5.根據權利要求2所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述上蓋(1)上具有第一開窗,該第一開窗的位置與待放置的量子芯片(5)對齊,用于觀察封裝盒內部情況,對應在第一開窗的位置還設置有第一密封蓋(4)。
6.根據權利要求1至5中任一項所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述PCB板(6)之上具有開孔,量子芯片(5)放置于該開孔之中。
7.根據權利要求6所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述PCB板(6)上的開孔的形狀與量子芯片(5)的形狀匹配。
8.根據權利要求6所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述PCB板(6)的正面設置有信號線焊點與接地焊點,用于量子芯片(5)與PCB板(6)之間的引線。
9.根據權利要求1至5中任一項所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述PCB板(6)之上具有開孔,該開孔的尺寸略小于量子芯片(5)的尺寸,封裝時量子芯片(5)位于該開孔之下,暴露出該量子芯片(5)的內部正面部分,在所述PCB板(6)的背面、與量子芯片(5)非暴露的邊緣正面部分接觸的位置設置有接地焊點,在所述PCB板(6)的正面設置有信號線焊點與接地焊點。
10.根據權利要求1所述的量子芯片封裝盒結構,其特征在于,所述底座(8)和上蓋(1)上對應設置有用于固定PCB板(6)的安裝孔。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





