[實用新型]一種半導(dǎo)體制造用清洗機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921166877.2
• 申請日: 2019-07-24
• 公開（公告）號: CN210052720U
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊仕品
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山市智程自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 32354 蘇州企航知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 王丹

1.一種半導(dǎo)體制造用清洗機，包括底座(1)，所述底座(1)的頂部通過螺栓連接有清洗箱(6)和儲液箱(10)，且清洗箱(6)的底部設(shè)有喇叭狀結(jié)構(gòu)的溢流罩(2)，所述底座(1)的頂部通過螺栓連接有輸送泵(11)，且輸送泵(11)的進口端通過法蘭與儲液箱(10)連通，輸送泵(11)的出口通過法蘭與溢流罩(2)連通，其特征在于，所述清洗箱(6)的內(nèi)部設(shè)有支撐網(wǎng)板(4)，且支撐網(wǎng)板(4)的頂端通過搭扣鎖連接有防護支架(5)，防護支架(5)的內(nèi)部設(shè)有多個清洗腔，所述清洗箱(6)的側(cè)面頂端通過螺栓連接有矩形管狀結(jié)構(gòu)的溢流管(7)，且溢流管(7)的另一端通過螺栓與儲液箱(10)的頂端連通，所述清洗箱(6)的底部內(nèi)壁通過螺栓連接有四個彈簧(3)，且支撐網(wǎng)板(4)的底部四角通過螺栓連接有插接于彈簧(3)內(nèi)部的限位桿。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，所述儲液箱(10)的一側(cè)通過螺栓連接有封板(8)，且封板(8)的側(cè)面通過螺栓連接有多個過濾網(wǎng)板(9)，儲液箱(10)的一端底部通過法蘭連接有排液閥。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，所述儲液箱(10)的內(nèi)壁設(shè)有多個插槽，且過濾網(wǎng)板(9)插接于插槽的內(nèi)部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，所述防護支架(5)上的清洗腔內(nèi)壁設(shè)有硅膠膜，且硅膠膜的表面設(shè)有毛刷(12)，毛刷(12)的端部為球面狀結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，所述防護支架(5)的頂端通過搭扣鎖連接有網(wǎng)蓋。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，還包括通過螺栓安裝于所述溢流罩(2)內(nèi)部的超聲波換能器(13)，且溢流罩(2)的內(nèi)部通過螺栓連接有多個曝氣管(14)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體制造用清洗機，其特征在于，所述溢流管(7)的頂端通過螺栓連接有氣泵(15)，且氣泵(15)的出口端通過管道與曝氣管(14)連通。