[實用新型]一種半導體晶圓末端執行器有效
| 申請號： | 201921165728.4 | 申請日： | 2019-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN210210437U | 公開（公告）日： | 2020-03-31 |
| 發明（設計）人： | 王強;周衛國;劉冬梅;高勇;韓曉樂;徐賀;尹誠誠 | 申請（專利權）人： | 北京銳潔機器人科技有限公司 |
| 主分類號： | B25J15/02 | 分類號： | B25J15/02;B25J15/00;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京知呱呱知識產權代理有限公司 11577 | 代理人： | 盛明星 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 末端 執行 | ||
1.一種半導體晶圓末端執行器，包括用于固定晶圓的前夾爪模塊(1)和后夾爪模塊(2)，其特征在于，還包括雙滑塊直線導軌(5)以及用于驅動雙滑塊直線導軌(5)上的兩個滑塊同步相向運動的同步帶機構，所述前夾爪模塊(1)和后夾爪模塊(2)一一對應地固定于雙滑塊直線導軌(5)的兩個滑塊上并隨同步帶機構的運動而運動。
2.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述同步帶機構包括同步帶模塊(4)以及用于驅動同步帶模塊(4)運動的驅動氣缸(3)，所述同步帶模塊(4)的一側與雙滑塊直線導軌(5)的一個滑塊相連，所述同步帶模塊(4)的另一側與雙滑塊直線導軌(5)的另一個滑塊相連，所述驅動氣缸(3)與前夾爪模塊(1)連接。
3.根據權利要求2所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述前夾爪模塊(1)上設置有推動板(103)，所述推動板(103)和所述驅動氣缸(3)的輸出軸連接。
4.根據權利要求1所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述前夾爪模塊(1)包括第一卡塊(101)以及與第一卡塊(101)連接的第一連接板(102)，所述第一連接板(102)固定在雙滑塊直線導軌(5)的一個滑塊上。
5.根據權利要求4所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述第一連接板(102)為T字型結構，所述第一卡塊(101)設置有兩個且對稱安裝在第一連接板(102)的兩端。
6.根據權利要求5所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述第一連接板(102)通過螺栓與雙滑塊直線導軌(5)的一個滑塊連接，所述第一卡塊(101)通過螺栓固定在第一連接板(102)的端部。
7.根據權利要求4所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述后夾爪模塊(2)包括第二卡塊(201)以及與第二卡塊(201)連接的第二連接板(202)，所述第二連接板(202)固定在雙滑塊直線導軌(5)的另一個滑塊上。
8.根據權利要求7所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述第二連接板(202)為Y字型結構，所述第二卡塊(201)設置有兩個且對稱安裝在第二連接板(202)的兩端。
9.根據權利要求8所述的一種半導體晶圓末端執行器，其特征在于，所述第二連接板(202)通過螺栓與雙滑塊直線導軌(5)的另一個滑塊連接，所述第二卡塊(201)通過螺栓固定在第二連接板(202)的端部。
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