[實用新型]一種半導體芯片測試用探針卡

有效

• 申請號: 201921154781.4
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN210347722U
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 蔣次為
• 申請（專利權）人: 成都漢芯國科集成技術有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 李春芳

1.一種半導體芯片測試用探針卡，包括印刷電路板(1)，設在印刷電路板(1)上的探針基座(2)，以及設在探針基座(2)上的探針(3)，其特征在于，所述探針(3)上方設有圓弧形的透明保護蓋(4)，所述透明保護蓋(4)兩端分別固定在第一緩沖機構(11)和第二緩沖機構(6)上，所述第一緩沖機構(11)的下端通過第一固定座(7)固定在印刷電路板(1)上，所述第二緩沖機構(6)的下端設有第二固定座(8)，所述第二固定座(8)底部設有卡塊(81)，所述卡塊(81)卡接在彈性卡座(10)內，所述彈性卡座(10)和第一固定座(7)通過粘合材料固定在印刷電路板(1)上。

2.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試用探針卡，其特征在于，所述第一緩沖機構(11)和第二緩沖機構(6)結構相同，包括豎直滑軌(12)，套設在滑軌(12)上的滑套(13)，以及彈簧(14)，所述滑套(13)側面設有固定塊(15)，所述透明保護蓋(4)端部設在固定塊(15)上，所述第一緩沖機構(11)的固定塊(15)底部通過彈簧(14)固定在第一固定座(7)上，所述第二緩沖機構(6)的固定塊(15)底部通過彈簧(14)固定在第二固定座(8)上。

3.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試用探針卡，其特征在于，所述卡塊(81)包括上下依次設置的第一卡接部(811)和第二卡接部(812)，所述第一卡接部(811)為圓柱形，所述第二卡接部(812)為圓球形，且第二卡接部(812)的直徑大于第一卡接部(811)。

4.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試用探針卡，其特征在于，所述保護蓋內側設有放大鏡片(5)。

5.根據權利要求1所述的一種半導體芯片測試用探針卡，其特征在于，所述粘合材料為泡沫膠(9)。