[實用新型]一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921153416.1
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN210420125U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉毅
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市大晉涂層科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/44
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 劉曉敏

本實用新型公開了一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)，包括第一換熱器、第二換熱器和高壓泵，所述第一換熱器和第二換熱器管連接，所述第二換熱器與所述高壓泵管連接，所述高壓泵的出水端連接有導(dǎo)管的一端，所述導(dǎo)管的另一端連接有進(jìn)水管線，所述進(jìn)水管線由三根進(jìn)水管組成，三根進(jìn)水管分別連接有真空涂層設(shè)備的陰極部、離子室和腔室夾套，所述陰極部、離子室和腔室夾套的出水端分別連接有出水管的一端，本實用新型設(shè)置了兩個熱交換器，使得冷卻效果得到提升，冷卻效果更為明顯，其次設(shè)置了加熱管線，冷卻水在進(jìn)行初步預(yù)冷后，由加熱管線流入腔室，對腔室內(nèi)部進(jìn)行加熱，有效避免腔體內(nèi)的大氣中的水分子被凝固并黏附于腔體表面。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及涂層技術(shù)領(lǐng)域，具體領(lǐng)域為一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，一般涂層工藝可分為待機準(zhǔn)備狀態(tài)－抽真空－加熱－刻蝕清潔－涂層，即整個過程中，真空涂層設(shè)備采用單一冷卻系統(tǒng)進(jìn)行冷卻工作。真空涂層設(shè)備的腔體冷卻水溫度的高低可以直接影響腔室抽真空的速率，低溫度的腔體冷卻水容易導(dǎo)致腔體內(nèi)的大氣中的水分子被凝固并黏附于腔體表面，被凝固和黏附的水分子將嚴(yán)重影響抽真空的速率從而造成整個工藝時間的延長，在時間上形成了嚴(yán)重的浪費，并且由于環(huán)境溫度的升高，低溫度的冷卻水容易產(chǎn)生冷凝水凝結(jié)從而危害設(shè)備的安全及產(chǎn)生嚴(yán)重的電氣隱患。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)，包括第一換熱器、第二換熱器和高壓泵，所述第一換熱器和第二換熱器管連接，所述第二換熱器與所述高壓泵管連接，所述高壓泵的出水端連接有導(dǎo)管的一端，所述導(dǎo)管的另一端連接有進(jìn)水管線，所述進(jìn)水管線由三根進(jìn)水管組成，三根進(jìn)水管分別連接有真空涂層設(shè)備的陰極部、離子室和腔室夾套，所述陰極部、離子室和腔室夾套的出水端分別連接有出水管的一端，所述出水管的另一端均連接出水管線，所述第一換熱器與所述出水管線管連接，所述第一換熱器和第二換熱器的進(jìn)水口均連接有冷卻水進(jìn)水管，所述所述第一換熱器和第二換熱器的出水口均連接有冷卻水出水管，所述第一換熱器和第二換熱器之間設(shè)有加熱管線的一端，所述加熱管線的另一端連接有加熱管的一端，所述加熱管的另一端連接有回水管的一端，所述回水管的另一端設(shè)在所述加熱管線和所述第二換熱器之間的管線上，所述加熱管線的管路上設(shè)有加熱電磁閥，所述腔室夾套的內(nèi)側(cè)壁固定連接有腔室，所述加熱管設(shè)在所述腔室的內(nèi)壁。

優(yōu)選的，所述加熱管為螺旋形設(shè)置。

優(yōu)選的，所述回水管的管路上設(shè)有回水止回閥。

優(yōu)選的，所述進(jìn)水管線的管路上且位于所述離子室和陰極部之間的位置設(shè)有進(jìn)水電磁閥。

優(yōu)選的，所述出水管線的管路上且位于所述離子室和陰極部之間的位置設(shè)有出水止回閥。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：一種真空涂層設(shè)備的冷卻系統(tǒng)，設(shè)置了兩個熱交換器，對冷卻水實行與冷卻和再冷卻兩道冷卻措施，使得冷卻效果得到提升，冷卻效果更為明顯，其次設(shè)置了加熱管線，冷卻水在進(jìn)行初步預(yù)冷后，由加熱管線流入腔室，因為冷卻水只經(jīng)過了預(yù)冷，所以溫度較高，溫度較高的冷卻水可給腔室的內(nèi)壁升溫，從而有效避免腔體內(nèi)的大氣中的水分子被凝固并黏附于腔體表面。

附圖說明

圖1為本實用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型的腔室主視剖面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1-第一換熱器、2-第二換熱器、3-高壓泵、4-導(dǎo)管、5-進(jìn)水管線、6-陰極部、7-離子室、8-腔室夾套、9-出水管、10-出水管線、11-冷卻水進(jìn)水管、12-冷卻水出水管、13-加熱管線、14-回水管、15-加熱電磁閥、16-加熱管、17-腔室、18-回水止回閥、19-進(jìn)水電磁閥、20-出水止回閥。

具體實施方式