[實用新型]一種真空涂層設備的冷卻系統

有效

• 申請號: 201921153416.1
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN210420125U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 劉毅
• 申請（專利權）人: 東莞市大晉涂層科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/44
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 劉曉敏

1.一種真空涂層設備的冷卻系統，包括第一換熱器(1)、第二換熱器(2)和高壓泵(3)，其特征在于：所述第一換熱器(1)和第二換熱器(2)管連接，所述第二換熱器(2)與所述高壓泵(3)管連接，所述高壓泵(3)的出水端連接有導管(4)的一端，所述導管(4)的另一端連接有進水管線(5)，所述進水管線(5)由三根進水管組成，三根進水管分別連接有真空涂層設備的陰極部(6)、離子室(7)和腔室夾套(8)，所述陰極部(6)、離子室(7)和腔室夾套(8)的出水端分別連接有出水管(9)的一端，所述出水管(9)的另一端均連接出水管線(10)，所述第一換熱器(1)與所述出水管線(10)管連接，所述第一換熱器(1)和第二換熱器(2)的進水口均連接有冷卻水進水管(11)，所述第一換熱器(1)和第二換熱器(2)的出水口均連接有冷卻水出水管(12)，所述第一換熱器(1)和第二換熱器(2)之間設有加熱管線(13)的一端，所述加熱管線(13)的另一端連接有加熱管(16)的一端，所述加熱管(16)的另一端連接有回水管(14)的一端，所述回水管(14)的另一端設在所述加熱管線(13)和所述第二換熱器(2)之間的管線上，所述加熱管線(13)的管路上設有加熱電磁閥(15)，所述腔室夾套(8)的內側壁固定連接有腔室(17)，所述加熱管(16)設在所述腔室(17)的內壁。

2.根據權利要求1所述的一種真空涂層設備的冷卻系統，其特征在于：所述加熱管(16)為螺旋形設置。

3.根據權利要求1所述的一種真空涂層設備的冷卻系統，其特征在于：所述回水管(14)的管路上設有回水止回閥(18)。

4.根據權利要求1所述的一種真空涂層設備的冷卻系統，其特征在于：所述進水管線(5)的管路上且位于所述離子室(7)和陰極部(6)之間的位置設有進水電磁閥(19)。

5.根據權利要求1所述的一種真空涂層設備的冷卻系統，其特征在于：所述出水管線(10)的管路上且位于所述離子室(7)和陰極部(6)之間的位置設有出水止回閥(20)。