[實用新型]一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921152837.2
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN210261993U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設計）人: 王金鐸;啜艷明;郭賓;郭鳳祥;胡士偉;周倩
• 申請（專利權(quán)）人: 保定順天新材料股份有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本實用新型公開了一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐，包括爐體和爐蓋，爐蓋位于爐體的上方，爐蓋上方中部的連接管通過排氣管路與真空泵連通，爐體包括內(nèi)室和外室，外室套設在內(nèi)室的外側(cè)，連接管與內(nèi)室連通；外室與內(nèi)室之間的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)設有發(fā)熱體，發(fā)熱體四周填充有惰性氣體，外室外側(cè)設有與外室連通的第一壓力監(jiān)測表和與內(nèi)室連通的第二壓力監(jiān)測表，第一壓力監(jiān)測表和第二壓力監(jiān)測表均與壓差表連接，壓差表與外室上用于控制惰性氣體流通的氣體流量閥連接。本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐，實時監(jiān)測內(nèi)室與外室壓差，保證爐體正常工作。

技術領域

本實用新型涉及真空沉積爐技術領域，特別是涉及一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐。

背景技術

國內(nèi)高溫化學氣相沉積爐采用內(nèi)室沉積、外室加熱的結(jié)構(gòu)，內(nèi)室有沉積氣體工作，外室有發(fā)熱體工作。外室一般由石墨發(fā)熱體或銅電極作為爐溫輻射熱源，內(nèi)外室由耐高溫材質(zhì)隔開，內(nèi)室不斷通入沉積氣體工作。目前，隔開內(nèi)外室的材質(zhì)不能完成隔絕內(nèi)室沉積氣體外溢到外室，沉積氣體沉積在發(fā)熱體表面會降低發(fā)熱效率、降低發(fā)熱體壽命。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐，實時監(jiān)測內(nèi)室與外室壓差，保證爐體正常工作。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐，包括爐體和爐蓋，所述爐蓋位于所述爐體的上方，所述爐蓋上方中部的連接管通過排氣管路與真空泵連通，所述爐體包括內(nèi)室和外室，所述外室套設在所述內(nèi)室的外側(cè)，所述連接管與所述內(nèi)室連通；

所述外室與所述內(nèi)室之間的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)設有發(fā)熱體，所述發(fā)熱體四周填充有惰性氣體，所述外室外側(cè)設有與所述外室連通的第一壓力監(jiān)測表和與所述內(nèi)室連通的第二壓力監(jiān)測表，所述第一壓力監(jiān)測表和所述第二壓力監(jiān)測表均與壓差表連接，所述壓差表與所述外室上用于控制惰性氣體流通的氣體流量閥連接。

優(yōu)選的，所述第一壓力監(jiān)測表外套設有貫穿所述外室壁的第一防護管，所述第二壓力監(jiān)測表外套設有貫穿所述外室壁和所述內(nèi)室壁的第二防護管，所述第一防護管和所述第二防護管的內(nèi)側(cè)均填充有保護層。

優(yōu)選的，所述第一防護管和所述第二防護管的兩端均設有活動封閉件。

優(yōu)選的，所述第一防護管與所述外室壁之間設有密封圈，所述第二防護管與所述外室壁、所述內(nèi)室壁的連接處均設有密封圈。

優(yōu)選的，所述內(nèi)室與所述外室為同一底部。

因此，本實用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐，實時監(jiān)測內(nèi)室與外室壓差，保證爐體正常工作。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

圖1是本實用新型一種具有壓差控制機構(gòu)的高溫雙室真空沉積爐實施例的示意圖。

附圖標記

1、爐體；2、爐蓋；3、連接管；4、排氣管路；5、真空泵；6、內(nèi)室；7、外室；8、發(fā)熱體；9、惰性氣體；10、第一壓力監(jiān)測表；11、第二壓力監(jiān)測表；12、壓差表；13、氣體流量閥；14、第一防護管；15、第二防護管；16、封閉件；17、保護層。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本實用新型的實施方式做進一步的說明。