[實用新型]一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐

有效

• 申請號: 201921152837.2
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN210261993U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 王金鐸;啜艷明;郭賓;郭鳳祥;胡士偉;周倩
• 申請（專利權）人: 保定順天新材料股份有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐，包括爐體和爐蓋，所述爐蓋位于所述爐體的上方，其特征在于：所述爐蓋上方中部的連接管通過排氣管路與真空泵連通，所述爐體包括內室和外室，所述外室套設在所述內室的外側，所述連接管與所述內室連通；

所述外室與所述內室之間的中空結構內設有發熱體，所述發熱體四周填充有惰性氣體，所述外室外側設有與所述外室連通的第一壓力監測表和與所述內室連通的第二壓力監測表，所述第一壓力監測表和所述第二壓力監測表均與壓差表連接，所述壓差表與所述外室上用于控制惰性氣體流通的氣體流量閥連接。

2.根據權利要求1所述的一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐，其特征在于：所述第一壓力監測表外套設有貫穿所述外室壁的第一防護管，所述第二壓力監測表外套設有貫穿所述外室壁和所述內室壁的第二防護管，所述第一防護管和所述第二防護管的內側均填充有保護層。

3.根據權利要求2所述的一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐，其特征在于：所述第一防護管和所述第二防護管的兩端均設有活動封閉件。

4.根據權利要求3所述的一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐，其特征在于：所述第一防護管與所述外室壁之間設有密封圈，所述第二防護管與所述外室壁、所述內室壁的連接處均設有密封圈。

5.根據權利要求1所述的一種具有壓差控制機構的高溫雙室真空沉積爐，其特征在于：所述內室與所述外室為同一底部。