[實(shí)用新型]翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921152728.0
• 申請(qǐng)日: 2019-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN211337941U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫彬;矯云超;張雷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號(hào): B65G49/07
• 分類號(hào): B65G49/07;B65G47/252;B65G47/91
• 代理公司: 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11435
• 代理人: 周穎穎

本申請(qǐng)公開一種翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置，包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有水平轉(zhuǎn)軸和升降機(jī)構(gòu)，水平轉(zhuǎn)軸的一端連接動(dòng)力部件，水平轉(zhuǎn)軸通過連接件與升降機(jī)構(gòu)相連，升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)水平轉(zhuǎn)軸在豎直方向上上下移動(dòng)，水平轉(zhuǎn)軸上安裝有用于吸附晶圓的吸盤，吸盤通過氣管連接真空發(fā)生器。根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案，吸盤隨水平轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)晶圓的翻轉(zhuǎn)，成本低，操作簡(jiǎn)單，安全系數(shù)高。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)一般涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體整個(gè)流程要經(jīng)過各種膠類、高溫和藥液的處理，流程結(jié)束后難免會(huì)在晶圓的晶背上殘留一些小的異物或臟污，這時(shí)需要對(duì)晶背進(jìn)行一些擦拭處理；

很多顯微鏡機(jī)臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)翻晶背功能，但由于通過真空吸附晶圓正面，如果進(jìn)行施力處理，會(huì)存在晶圓掉落風(fēng)險(xiǎn)；

而目前半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)也會(huì)有一些簡(jiǎn)易的設(shè)備，如吸筆，利用吸筆取出晶圓，再將晶圓翻轉(zhuǎn)至晶背朝上，放置于承載晶圓的治具上，再進(jìn)行擦拭處理，但隨著12寸晶圓或更大尺寸的晶圓，這種用吸筆翻轉(zhuǎn)晶圓的風(fēng)險(xiǎn)性很大，易直接掉落或剮蹭到治具，造成晶面受損甚至破片。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷或不足，期望提供一種翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置。

本實(shí)用新型提供一種翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置，包括機(jī)架，所述機(jī)架上設(shè)有水平轉(zhuǎn)軸和升降機(jī)構(gòu)，所述水平轉(zhuǎn)軸的一端連接動(dòng)力部件，所述水平轉(zhuǎn)軸通過連接件與所述升降機(jī)構(gòu)相連，所述升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述水平轉(zhuǎn)軸在豎直方向上上下移動(dòng)，所述水平轉(zhuǎn)軸上安裝有用于吸附晶圓的吸盤，所述吸盤通過氣管連接真空發(fā)生器。

優(yōu)選的，所述機(jī)架包括底座和設(shè)置在所述底座上的兩個(gè)立柱；

所述水平轉(zhuǎn)軸套接有兩個(gè)所述連接件，兩個(gè)所述連接件分別與兩個(gè)所述立柱滑動(dòng)連接，并且兩個(gè)所述連接件分別通過升降機(jī)構(gòu)連接至所述底座。

優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括升降氣缸，所述升降氣缸垂直固連至所述底座，所述升降氣缸的伸縮桿的頂端固連至所述連接件。

優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括豎直設(shè)置的絲杠、與所述絲杠螺紋連接的絲杠螺母以及固連所述底座的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述絲杠與所述連接件螺旋傳動(dòng)配合，所述絲杠螺母與所述立柱相連，所述絲杠的底端與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸相連。

優(yōu)選的，至少其中一個(gè)所述連接件上還設(shè)置有止回機(jī)構(gòu)，所述止回機(jī)構(gòu)包括棘爪和彈性件，所述棘爪的轉(zhuǎn)動(dòng)端通過銷軸連接于所述連接件，所述棘爪的止回端與其在的連接件之間通過所述彈性件相連；

所述水平轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有與所述棘爪的止回端相配合的棘輪，所述棘輪與所述水平轉(zhuǎn)軸共軸設(shè)置。優(yōu)選的，所述彈性件包括扭簧或拉簧。

優(yōu)選的，沿所述水平轉(zhuǎn)軸的軸向，所述水平轉(zhuǎn)軸上間隔安裝有兩個(gè)所述吸盤，兩個(gè)所述吸盤的吸附面共面。

優(yōu)選的，所述底座上設(shè)有限位軌道，所述限位軌道包括垂直安裝在所述底座上的兩個(gè)側(cè)板，兩個(gè)側(cè)板平行布設(shè)，所述限位軌道的長(zhǎng)度方向與所述水平轉(zhuǎn)軸的軸向相垂直；

沿所述水平轉(zhuǎn)軸的軸向，兩個(gè)側(cè)板的頂部均設(shè)有向兩個(gè)側(cè)板之間伸出的限位板。

優(yōu)選的，所述動(dòng)力部件為旋轉(zhuǎn)手柄；或，所述動(dòng)力部件為旋轉(zhuǎn)氣缸。

優(yōu)選的，所述水平轉(zhuǎn)軸與所述連接件之間通過滾動(dòng)軸承相連。

根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案，吸盤隨水平轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)晶圓的翻轉(zhuǎn)，成本低，操作簡(jiǎn)單，安全系數(shù)高。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖所作的對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本申請(qǐng)的其它特征、目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯：

圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例提供的翻轉(zhuǎn)晶圓的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；