[實用新型]翻轉晶圓的裝置

有效

• 申請號: 201921152728.0
• 申請日: 2019-07-22
• 公開（公告）號: CN211337941U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 孫彬;矯云超;張雷
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07;B65G47/252;B65G47/91
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 周穎穎

1.一種翻轉晶圓的裝置，其特征在于，包括機架，所述機架上設有水平轉軸和升降機構，所述水平轉軸的一端連接動力部件，所述水平轉軸通過連接件與所述升降機構相連，所述升降機構帶動所述水平轉軸在豎直方向上上下移動，所述水平轉軸上安裝有用于吸附晶圓的吸盤，所述吸盤通過氣管連接真空發生器。

2.根據權利要求1所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述機架包括底座和設置在所述底座上的兩個立柱；

所述水平轉軸套接有兩個所述連接件，兩個所述連接件分別與兩個所述立柱滑動連接，并且兩個所述連接件分別通過升降機構連接至所述底座。

3.根據權利要求2所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述升降機構包括升降氣缸，所述升降氣缸垂直固連至所述底座，所述升降氣缸的伸縮桿的頂端固連至所述連接件。

4.根據權利要求2所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述升降機構包括豎直設置的絲杠、與所述絲杠螺紋連接的絲杠螺母以及固連所述底座的驅動電機，所述絲杠與所述連接件螺旋傳動配合，所述絲杠螺母與所述立柱相連，所述絲杠的底端與所述驅動電機的輸出軸相連。

5.根據權利要求1所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，至少其中一個所述連接件上還設置有止回機構，所述止回機構包括棘爪和彈性件，所述棘爪的轉動端通過銷軸連接于所述連接件，所述棘爪的止回端與其在的連接件之間通過所述彈性件相連；

所述水平轉軸上設置有與所述棘爪的止回端相配合的棘輪，所述棘輪與所述水平轉軸共軸設置。

6.根據權利要求5所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述彈性件包括扭簧或拉簧。

7.根據權利要求1-6任一項所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，沿所述水平轉軸的軸向，所述水平轉軸上間隔安裝有兩個所述吸盤，兩個所述吸盤的吸附面共面。

8.根據權利要求2-4任一項所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述底座上設有限位軌道，所述限位軌道包括垂直安裝在所述底座上的兩個側板，兩個側板平行布設，所述限位軌道的長度方向與所述水平轉軸的軸向相垂直；

沿所述水平轉軸的軸向，兩個側板的頂部均設有向兩個側板之間伸出的限位板。

9.根據權利要求1-6任一項所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述動力部件為旋轉手柄；或，所述動力部件為旋轉氣缸。

10.根據權利要求1-6任一項所述的翻轉晶圓的裝置，其特征在于，所述水平轉軸與所述連接件之間通過滾動軸承相連。