[實(shí)用新型]一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921151878.X
• 申請(qǐng)日: 2019-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN210261975U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王金鐸;啜艷明;郭賓;郭鳳祥;周倩;胡士偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 保定順天新材料股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本實(shí)用新型公開了一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，包括爐蓋和爐體，所述爐蓋位于所述爐體的上方，所述爐蓋和所述爐體均為方體結(jié)構(gòu)，所述爐蓋上方的中部設(shè)有與所述爐體連通的連接管，所述連接管通過排氣管道與真空泵連接；所述爐蓋下方設(shè)有位于所述爐體內(nèi)的緩沖架，所述緩沖架為空心圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，所述緩沖架上方的開口位于所述連接管的下方，所述緩沖架下方的內(nèi)徑小于所述爐體的內(nèi)徑，所述緩沖架的架體上均勻分布有通孔。本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，避免爐內(nèi)氣體因?yàn)榱鲃?dòng)空間變徑而不均勻、形成氣體渦流，增加爐體氣場(chǎng)均勻性，提高沉積效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及高溫氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐。

背景技術(shù)

目前，國(guó)內(nèi)高溫氣相沉積爐工作溫度為800-1200℃，爐體結(jié)構(gòu)為內(nèi)室沉積、外室加熱。多數(shù)工業(yè)用氣相沉積爐尺寸增大至直徑4m、高度4m，沉積氣體自爐底進(jìn)入爐內(nèi)從爐頂排出，除氣體熱運(yùn)動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)外，關(guān)鍵、主要?jiǎng)恿κ钦婵毡脛?dòng)力，因爐體直徑是排氣管道直徑的20-30倍，會(huì)導(dǎo)致氣體流動(dòng)動(dòng)力不同從而出現(xiàn)氣場(chǎng)不均勻甚至在爐內(nèi)近頂部位置出現(xiàn)渦流現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，避免爐內(nèi)氣體因?yàn)榱鲃?dòng)空間變徑而不均勻、形成氣體渦流，增加爐體氣場(chǎng)均勻性，提高沉積效率。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，包括爐蓋和爐體，所述爐蓋位于所述爐體的上方，所述爐蓋和所述爐體均為方體結(jié)構(gòu)，所述爐蓋上方的中部設(shè)有與所述爐體連通的連接管，所述連接管通過排氣管道與真空泵連接；

所述爐蓋下方設(shè)有位于所述爐體內(nèi)的緩沖架，所述緩沖架為空心圓臺(tái)結(jié)構(gòu)，所述緩沖架上方的開口位于所述連接管的下方，所述緩沖架下方的內(nèi)徑小于所述爐體的內(nèi)徑，所述緩沖架的架體上均勻分布有通孔。

優(yōu)選的，所述爐體與所述爐蓋之間設(shè)有密封圈，所述爐蓋的外層設(shè)有保溫層。

優(yōu)選的，所述爐蓋通過螺栓連接在所述爐體上，所述緩沖架的頂部通過螺栓連接在所述爐體上。

優(yōu)選的，所述爐體的高度和內(nèi)徑均為4m，所述緩沖架的高度為20cm，所述通孔為圓形，所述通孔之間間隔2cm，其直徑為5cm。

優(yōu)選的，所述緩沖架的材質(zhì)為碳碳板材。

因此，本實(shí)用新型采用上述結(jié)構(gòu)的一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，避免爐內(nèi)氣體因?yàn)榱鲃?dòng)空間變徑而不均勻、形成氣體渦流，增加爐體氣場(chǎng)均勻性，提高沉積效率。

下面通過附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐實(shí)施例的示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐中緩沖架的立體圖。

附圖標(biāo)記

1、爐蓋；2、爐體；3、連接管；4、排氣管道；5、真空泵；6、緩沖架；7、通孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式做進(jìn)一步的說明。

圖1是本實(shí)用新型一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐實(shí)施例的示意圖，圖2是本實(shí)用新型一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐中緩沖架的立體圖，如圖所示，一種氣場(chǎng)均勻的高溫氣相沉積爐，包括爐蓋1和爐體2，爐蓋1位于爐體2的上方，爐蓋1通過螺栓連接在爐體2上。爐體2與爐蓋1之間設(shè)有密封圈，密封圈可以加強(qiáng)爐體2與爐蓋1的密封性。爐蓋1的外層設(shè)有保溫層，保溫層可以減少溫度的散失。爐蓋1和爐體2均為方體結(jié)構(gòu)，爐體2的高度和內(nèi)徑均為4m。