[實用新型]一種芯片表面檢測裝置

有效

• 申請號: 201921147772.2
• 申請日: 2019-07-19
• 公開（公告）號: CN210442278U
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 殷澤安;殷志鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州譯品芯半導體有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片表面檢測裝置，包括支撐腳(11)，其特征在于：所述支撐腳(11)的上端固定連接有工作臺(12)，所述工作臺(12)上端面上固定安裝有放置臺(13)，工作臺(12)上方通過連接桿固定安裝有底板(14)，所述底板(14)上設置安裝有移動座(2)，所述移動座(2)由驅動機構(1)驅動，移動座(2)的下端面上固定安裝有相機(3)和一組光源(4)，所述光源(4)環形陣列分布在相機(3)的四周，工作臺(12)上轉動安裝有防護罩(17)，所述防護罩(17)上設置安裝有自動開合機構(22)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片表面檢測裝置，其特征在于：所述底板(14)的下端面上固定安裝有安裝板(8)，所述安裝板(8)下端面上滑動安裝有滑動座(6)，所述移動座(2)滑動設置安裝在滑動座(6)上，安裝板(8)下端面上設置有一對滑槽(10)，所述滑動座(6)上端面上設置有一對滑軌(9)，所述滑軌(9)滑動設置安裝有在滑槽(10)中。

3.根據權利要求2所述的一種芯片表面檢測裝置，其特征在于：所述驅動機構(1)包括水平絲杠(7)和豎直絲杠(5)，所述水平絲杠(7)設置安裝在安裝板(8)上，所述滑動座(6)由水平絲杠(7)驅動，所述豎直絲杠(5)設置安裝在滑動座(6)上，所述移動座(2)由豎直絲杠(5)驅動。

4.根據權利要求1所述的一種芯片表面檢測裝置，其特征在于：所述自動開合機構(22)包括電動推桿(18)，所述電動推桿(18)固定安裝在左側的支撐腳(11)上，所述防護罩(17)的左端面上固定連接有連接塊(20)，所述連接塊(20)上設置有連接槽(21)，電動推桿(18)伸縮桿的末端設置有連接銷(19)，所述連接銷(19)滑動設置安裝在連接槽(21)中。

5.根據權利要求1所述的一種芯片表面檢測裝置，其特征在于：所述工作臺(12)的上表面和防護罩(17)的內表面上設置防靜電層(16)。

6.根據權利要求5所述的一種芯片表面檢測裝置，其特征在于：所述防靜電層(16)的表面涂覆有防反射涂層(15)。