[實用新型]一種芯片表面檢測裝置

有效

• 申請號: 201921147772.2
• 申請日: 2019-07-19
• 公開（公告）號: CN210442278U
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發明（設計）人: 殷澤安;殷志鵬
• 申請（專利權）人: 蘇州譯品芯半導體有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種芯片表面檢測裝置，包括支撐腳，所述支撐腳的上端固定連接有工作臺，所述工作臺上端面上固定安裝有放置臺，工作臺上方通過連接桿固定安裝有底板，所述底板上設置安裝有移動座，所述移動座由驅動機構驅動，移動座的下端面上固定安裝有相機和一組光源，所述光源環形陣列分布在相機的四周，工作臺上轉動安裝有防護罩，所述防護罩上設置安裝有自動開合機構。本實用新型是一種結構簡單，自動化程度高，可減輕認為誤差提高檢測準確率的芯片表面檢測裝置。

技術領域

本實用新型涉及芯片檢測技術領域，具體為一種芯片表面檢測裝置。

背景技術

如何精準高效的檢測芯片的缺陷是芯片制造的重要一環，在現有技術中，通常是以高照明強度的光源，直接對待測芯片進行打光，而后檢測人員通過高倍顯微鏡進行瑕疵檢測，這樣的方式要求檢測人員高度集中注意力，且容易產生區域漏檢，勞動強度大，檢測準確率也不高。所以，亟需一種新型的芯片表面檢測裝置解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種芯片表面檢測裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種芯片表面檢測裝置，包括支撐腳，所述支撐腳的上端固定連接有工作臺，所述工作臺上端面上固定安裝有放置臺，工作臺上方通過連接桿固定安裝有底板，所述底板上設置安裝有移動座，所述移動座由驅動機構驅動，移動座的下端面上固定安裝有相機和一組光源，所述光源環形陣列分布在相機的四周，工作臺上轉動安裝有防護罩，所述防護罩上設置安裝有自動開合機構。

優選的，所述底板的下端面上固定安裝有安裝板，所述安裝板下端面上滑動安裝有滑動座，所述移動座滑動設置安裝在滑動座上，安裝板下端面上設置有一對滑槽，所述滑動座上端面上設置有一對滑軌，所述滑軌滑動設置安裝有在滑槽中。

優選的，所述驅動機構包括水平絲杠和豎直絲杠，所述水平絲杠設置安裝在安裝板上，所述滑動座由水平絲杠驅動，所述豎直絲杠設置安裝在滑動座上，所述移動座由豎直絲杠驅動。

優選的，所述自動開合機構包括電動推桿，所述電動推桿固定安裝在左側的支撐腳上，所述防護罩的左端面上固定連接有連接塊，所述連接塊上設置有連接槽，電動推桿伸縮桿的末端設置有連接銷，所述連接銷滑動設置安裝在連接槽中。

優選的，所述工作臺的上表面和防護罩的內表面上設置防靜電層。

優選的，所述防靜電層的表面涂覆有防反射涂層。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型中，芯片放置在放置臺上，關上防護罩后光源將強光打在芯片上，相機對芯片進行拍照，相機是目前常見的具有高清微距拍攝功能的相機，相機一次只對芯片上的一小塊區域進行拍攝，通過驅動機構的驅動，相機拍攝的圖片覆蓋整個芯片，最后在計算機上局部的圖片被合成一張整體的圖片，通過觀察整體的高清圖片，即可觀察出芯片表面的瑕疵。平行設置的一對滑軌用于對滑動座進行導向，提高其移動的精度。自動開合機構通過電動推桿的伸縮控制防護罩的開合。防靜電層可以減少檢測裝置的內部沾染灰塵。防反射涂層防止光源產生的光線被反射后，干擾相機對芯片進行高清拍攝。本實用新型是一種結構簡單，自動化程度高，可減輕認為誤差提高檢測準確率的芯片表面檢測裝置。

附圖說明

圖1為一種芯片表面檢測裝置的結構示意圖；

圖2為一種芯片表面檢測裝置中驅動機構的結構示意圖。

圖中：1-驅動機構，2-移動座，3-相機，4-光源，5-豎直絲杠，6-滑動座，7-水平絲杠，8-安裝板，9-滑軌，10-滑槽，11-支撐腳，12-工作臺，13-放置臺，14-底板，15-防反射涂層，16-防靜電層，17-防護罩，18-電動推桿，19-連接銷，20-連接塊，21-連接槽，22-自動開合機構。