[實用新型]一種高基頻石英MASE晶片檢測裝置

有效

• 申請號: 201921143423.3
• 申請日: 2019-07-20
• 公開（公告）號: CN210376552U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 喻信東;鐘院華;方豹;楊飛
• 申請（專利權）人: 湖北泰晶電子科技股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高基頻石英MASE晶片檢測裝置，包括底座（1），所述底座（1）上設置有晶片支撐臺（2），所述晶片支撐臺（2）通過水平調節器（3）固定在支撐臺基座（4）上，所述晶片支撐臺（2）的下方設置有測試下探針（5）和下探針上下調節器（6），其特征在于：所述晶片支撐臺（2）兩側的底座（1）上分別安裝有左支架（7）和右支架（8），所述右支架（8）上安裝有光學放大鏡（9），所述左支架（7）上安裝有高精度螺旋調節器（10），所述高精度螺旋調節器（10）的底部安裝有測試上探針（11），所述測試上探針（11）位于晶片支撐臺（2）的正上方。

2.根據權利要求1所述的一種高基頻石英MASE晶片檢測裝置，其特征在于：所述高精度螺旋調節器（10）包括位于調節器頂部的粗調旋鈕（12）和細調旋鈕（13），所述細調旋鈕（13）位于粗調旋鈕（12）上方并套接在粗調旋鈕（12）內，所述粗調旋鈕（12）底部與調節器伸出頂桿（14）固定連接，所述調節器伸出頂桿（14）的底部與鏈接臂（15）固定連接，所述鏈接臂（15）的內部安裝有彈簧導柱（16），所述測試上探針（11）固定連接在彈簧導柱（16）的底部。

3.根據權利要求2所述的一種高基頻石英MASE晶片檢測裝置，其特征在于：所述左支架（7）上固定有調節支撐導柱（17），所述調節支撐導柱（17）與調節器伸出頂桿（14）上方的套筒固定連接，調節支撐導柱（17）上設置有上下滑軌（18），所述鏈接臂（15）與上下滑軌（18）滑動連接。