[實用新型]一種可調式菱形石英舟有效
| 申請號： | 201921114187.2 | 申請日： | 2019-07-16 |
| 公開（公告）號： | CN210325729U | 公開（公告）日： | 2020-04-14 |
| 發明（設計）人： | 常永喜;湯芳 | 申請（專利權）人： | 蘇州浩銳石英科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215231 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調式 菱形 石英 | ||
【權利要求書】：
1.一種可調式菱形石英舟，其特征在于，包括2個上槽棒、2個下槽棒和側板，所述側板上設置有2個上槽棒，所述上槽棒的下方設置有與之相對應的2個下槽棒，所述上槽棒與下槽棒形成梯形的，所述上槽棒與下槽棒上設置有固定槽，所述固定槽上設置有插片模塊，所述插片模塊能在固定槽上移動并且為可拆卸式的。
2.根據權利要求1所述的可調式菱形石英舟，其特征在于，所述2個下槽棒之間設置有支撐橫桿。
3.根據權利要求1所述的可調式菱形石英舟，其特征在于，所述插片模塊包括插片槽、固定塊和滑動塊，所述固定塊的上方設置有插片槽，所述固定塊的下方設置有滑動塊。
4.根據權利要求3所述的可調式菱形石英舟，其特征在于，所述滑動塊的兩側設置有夾持裝置。
5.根據權利要求1所述的可調式菱形石英舟，其特征在于，所述側板的一側防錯感應凸塊。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
