[實用新型]線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置

有效

• 申請號: 201921111330.2
• 申請日: 2019-07-16
• 公開（公告）號: CN210294038U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 劉峰;鐘舜聰;陳曼;方波;張秋坤
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/25
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 丘鴻超;蔡學俊

本實用新型涉及一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，線域頻域光學相干層析裝置包括鎢鹵素燈光源模塊、邁克爾遜干涉儀模塊、線光譜儀模塊和計算機，鎢鹵素燈光源模塊包括鎢鹵素燈光源和凸透鏡，邁克爾遜干涉儀模塊包括第一柱透鏡、分光鏡和參考鏡，線光譜儀模塊包括第二柱透鏡、反射鏡、反射式光柵、第三柱透鏡和面陣相機，計算機與面陣相機電性連接；縱向坐標標定裝置包括可調狹縫結構和用于驅動可調狹縫結構進行位移的狹縫位移平臺，可調狹縫結構設于分光鏡與待測樣品之間的檢測光路上，狹縫寬度可調。該裝置可對待測樣品進行線域檢測，且可對裝置的縱向坐標進行準確標定，確定線域頻域光學相干層析檢測的縱向坐標。

技術領域

本實用新型涉及光學相干層析技術領域，具體涉及一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置。

背景技術

光學相干層析（Optical Coherence Tomography，簡稱OCT）以低相干光干涉為原理，以邁克耳遜干涉儀為核心器件，通過分析檢測樣品的背向散射或反射光與參考光的干涉信號獲得樣品表面或內部微結構信息，是一種新型的光學無損檢測技術。憑借其非接觸、非傾入、高分辨率、低成本的優勢廣泛應用于生物醫學成像檢測及工程檢測等領域，線域頻域光學相干層析系統由傳統的單點頻域光學相干層析系統發展而來，光路結構中使用柱透鏡將光束聚焦成線作為檢測焦線，系統使用的光譜儀為線光譜儀，使用面陣相機采集線域上多個點的干涉光譜。通常焦線上包括幾百個檢測點，系統一次采集可以完成焦線上多點的層析檢測，相比單點檢測，線域系統成像速度得到了進一步提高。線域頻域光學相干層析檢測中通過對面陣相機采集的二維干涉光譜進行傅里葉變換獲得檢測樣品深度方向的結構信息，面陣相機每一行像素點對應著實際檢測中的一個檢測點，系統面陣相機縱向像素點所代表的實際檢測點大小不同，須經系統縱向坐標標定，確定頻域光學相干層析檢測縱向像素點所代表的實際檢測點大小。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，該裝置可對待測樣品進行線域檢測，且可線域頻域光學相干層析裝置的縱向坐標進行準確標定，確定線域頻域光學相干層析檢測的縱向坐標。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案是：一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，包括線域頻域光學相干層析裝置和縱向坐標標定裝置，所述線域頻域光學相干層析裝置包括鎢鹵素燈光源模塊、邁克爾遜干涉儀模塊、線光譜儀模塊和計算機，所述鎢鹵素燈光源模塊包括鎢鹵素燈光源（1）和凸透鏡（2），鎢鹵素燈光源（1）發出的光經凸透鏡（2）準直為平行光束，所述邁克爾遜干涉儀模塊包括第一柱透鏡（3）、分光鏡（4）和參考鏡（5），第一柱透鏡（3）將平行光束聚焦為焦線，分光鏡（4）將光束分束為強度相等的兩束光線，一束作為參考光匯聚于參考鏡（5），另一束作為檢測光匯聚于待測樣品（8）表面，兩束光經反射后重合發生干涉，所述線光譜儀模塊包括第二柱透鏡（10）、反射鏡（11）、反射式光柵（12）、第三柱透鏡（13）和面陣相機（14），干涉光束經第二柱透鏡（10）匯聚和反射鏡（11）反射后入射到反射式光柵（12）上，反射式光柵（12）將入射光按波長在空間分光后由柱透鏡匯聚成干涉譜線，由面陣相機采集二維干涉條紋圖像信號，所述計算機與面陣相機連接，以接收、存儲、處理面陣相機傳輸來的條紋圖像信號；所述縱向坐標標定裝置包括可調狹縫結構（9）和用于驅動可調狹縫結構進行位移的狹縫位移平臺，所述可調狹縫結構（9）設于分光鏡（4）與待測樣品（8）之間的檢測光路上，狹縫寬度可調。

進一步地，所述狹縫位移平臺包括橫向線性位移機構（7）和縱向線性位移機構（6），所述可調狹縫結構安裝于縱向線性位移機構（6）上，以在其帶動下進行縱向位移，所述縱向線性位移機構（6）設置于橫向線性位移機構（7）上，以在其帶動下進行橫向位移。

進一步地，所述橫向線性位移機構（7）和縱向線性位移機構（6）均為絲桿螺母副機構，分別由步進電機驅動工作。

進一步地，所述縱向坐標標定裝置為可拆結構，裝置縱向坐標標定完成后，縱向坐標標定裝置的可調狹縫結構和狹縫位移平臺可拆除。