[實用新型]線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置

有效

• 申請號: 201921111330.2
• 申請日: 2019-07-16
• 公開（公告）號: CN210294038U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 劉峰;鐘舜聰;陳曼;方波;張秋坤
• 申請（專利權）人: 福州大學
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/25
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 丘鴻超;蔡學俊

1.一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，其特征在于，包括線域頻域光學相干層析裝置和縱向坐標標定裝置，所述線域頻域光學相干層析裝置包括鎢鹵素燈光源模塊、邁克爾遜干涉儀模塊、線光譜儀模塊和計算機，所述鎢鹵素燈光源模塊包括鎢鹵素燈光源（1）和凸透鏡（2），鎢鹵素燈光源（1）發出的光經凸透鏡（2）準直為平行光束，所述邁克爾遜干涉儀模塊包括第一柱透鏡（3）、分光鏡（4）和參考鏡（5），第一柱透鏡（3）將平行光束聚焦為焦線，分光鏡（4）將光束分束為強度相等的兩束光線，一束作為參考光匯聚于參考鏡（5），另一束作為檢測光匯聚于待測樣品（8）表面，兩束光經反射后重合發生干涉，所述線光譜儀模塊包括第二柱透鏡（10）、反射鏡（11）、反射式光柵（12）、第三柱透鏡（13）和面陣相機（14），干涉光束經第二柱透鏡（10）匯聚和反射鏡（11）反射后入射到反射式光柵（12）上，反射式光柵（12）將入射光按波長在空間分光后由柱透鏡匯聚成干涉譜線，由面陣相機采集二維干涉條紋圖像信號，所述計算機與面陣相機連接，以接收、存儲、處理面陣相機傳輸來的條紋圖像信號；所述縱向坐標標定裝置包括可調狹縫結構（9）和用于驅動可調狹縫結構進行位移的狹縫位移平臺，所述可調狹縫結構（9）設于分光鏡（4）與待測樣品（8）之間的檢測光路上，狹縫寬度可調。

2.根據權利要求1所述的一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，其特征在于，所述狹縫位移平臺包括橫向線性位移機構（7）和縱向線性位移機構（6），所述可調狹縫結構安裝于縱向線性位移機構（6）上，以在其帶動下進行縱向位移，所述縱向線性位移機構（6）設置于橫向線性位移機構（7）上，以在其帶動下進行橫向位移。

3.根據權利要求2所述的一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，其特征在于，所述橫向線性位移機構（7）和縱向線性位移機構（6）均為絲桿螺母副機構，分別由步進電機驅動工作。

4.根據權利要求1所述的一種線域頻域光學相干層析檢測及縱向坐標標定裝置，其特征在于，所述縱向坐標標定裝置為可拆結構，裝置縱向坐標標定完成后，縱向坐標標定裝置的可調狹縫結構和狹縫位移平臺可拆除。