[實(shí)用新型]一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921105573.5
• 申請日: 2019-07-15
• 公開（公告）號: CN210535628U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王浩明;陳永萍;張廣德
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州子山半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G05B19/042
• 代理公司: 蘇州國卓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331
• 代理人: 薛芳芳

本實(shí)用新型公開了一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)，包括傳送室壓力模塊和外部邏輯控制器模塊，所述傳送室壓力模塊的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述Back反應(yīng)室溫控器信號的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述瓦特龍溫控器信號模塊的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述傳送室壓力模塊、Back反應(yīng)室溫控器信號和瓦特龍溫控器信號模塊的輸出端均接入至外部邏輯控制器模塊中，所述外部邏輯控制器模塊的輸出端為繼電器模塊，所述繼電器模塊的輸出端為輸出開關(guān)，按照Eurotherm溫控器報(bào)警模塊和瓦特龍溫控器報(bào)警模塊所對應(yīng)的溫度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行警報(bào)，這樣的設(shè)置，在檢測晶圓進(jìn)入反應(yīng)室之后進(jìn)行溫度過高或過低的檢測，在檢測時(shí)機(jī)臺測漏不會觸發(fā)錯(cuò)誤報(bào)警。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體技術(shù)是指半導(dǎo)體加工的各種技術(shù)，包括晶圓的生產(chǎn)技術(shù)、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術(shù)和工藝整合等技術(shù)。

現(xiàn)有的溫度監(jiān)控技術(shù)存在以下問題：目前Mattson機(jī)臺的Eurotherm僅起到過溫報(bào)警的作用，溫度過低時(shí)它是不偵測的，由于機(jī)臺測漏時(shí)會降溫，如果偵測低溫會產(chǎn)生誤報(bào)警，所以由軟體來檢測，軟體設(shè)定晶圓進(jìn)反應(yīng)室前溫度需在250℃+-5范圍內(nèi)，超過此范圍晶圓不會進(jìn)反應(yīng)室,且等待時(shí)間大于二十分鐘，機(jī)臺會發(fā)出報(bào)警，但是一旦晶圓進(jìn)入機(jī)臺后，系統(tǒng)將不再卡關(guān)，所以如果晶圓在進(jìn)入反應(yīng)室后溫度出現(xiàn)降溫，機(jī)臺并不會報(bào)警，會導(dǎo)致蝕刻率低，去膠不干凈，產(chǎn)品報(bào)廢及污染其它工序。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的目前Mattson機(jī)臺的Eurotherm僅起到過溫報(bào)警的作用，溫度過低時(shí)它是不偵測的，由于機(jī)臺測漏時(shí)會降溫，如果偵測低溫會產(chǎn)生誤報(bào)警，所以由軟體來檢測，軟體設(shè)定晶圓進(jìn)反應(yīng)室前溫度需在250℃+-5范圍內(nèi)，超過此范圍晶圓不會進(jìn)反應(yīng)室,且等待時(shí)間大于二十分鐘，機(jī)臺會發(fā)出報(bào)警，但是一旦晶圓進(jìn)入機(jī)臺后，系統(tǒng)將不再卡關(guān)，所以如果晶圓在進(jìn)入反應(yīng)室后溫度出現(xiàn)降溫，機(jī)臺并不會報(bào)警，會導(dǎo)致蝕刻率低，去膠不干凈，產(chǎn)品報(bào)廢及污染其它工序問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)，包括傳送室壓力模塊、Back反應(yīng)室溫控器信號、外部邏輯控制器模塊、繼電器模塊、Eurotherm溫控器報(bào)警模塊、輸出開關(guān)、瓦特龍溫控器報(bào)警模塊和Side反應(yīng)室溫控器信號，所述傳送室壓力模塊的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述傳送室壓力模塊內(nèi)部有eurotherm的信號和watlow信號構(gòu)成，所述Back反應(yīng)室溫控器信號的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述Side反應(yīng)室溫控器信號的輸出端為外部邏輯控制器模塊，所述傳送室壓力模塊、Back反應(yīng)室溫控器信號和Side反應(yīng)室溫控器信號的輸出端均接入至外部邏輯控制器模塊中，所述外部邏輯控制器模塊的輸出端為繼電器模塊，所述繼電器模塊的輸出端為輸出開關(guān)，所述輸出開關(guān)共設(shè)置有兩個(gè)輸出端，所述輸出開關(guān)的一個(gè)輸出端為Eurotherm溫控器報(bào)警模塊，所述輸出開關(guān)的另一個(gè)輸出端為瓦特龍溫控器報(bào)警模塊。

優(yōu)選的，所述傳送室壓力模塊、Back反應(yīng)室溫控器信號和Side反應(yīng)室溫控器信號均通過各自連接的線材進(jìn)行信號輸入。

優(yōu)選的，所述Eurotherm溫控器報(bào)警模塊的輸出信號可插接至機(jī)臺中安全連鎖裝置中。

優(yōu)選的，所述瓦特龍溫控器報(bào)警模塊對應(yīng)的溫度監(jiān)測范圍為零至三百攝氏度。

優(yōu)選的，所述Eurotherm溫控器報(bào)警模塊對應(yīng)的溫度監(jiān)測范圍為大于二百七十五攝氏度。

優(yōu)選的，所述外部邏輯控制器模塊、繼電器模塊和輸出開關(guān)均集成外界控制內(nèi)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測系統(tǒng)，具備以下有益效果：