[實(shí)用新型]一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921105573.5
• 申請(qǐng)日: 2019-07-15
• 公開（公告）號(hào): CN210535628U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王浩明;陳永萍;張廣德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州子山半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;G05B19/042
• 代理公司: 蘇州國卓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32331
• 代理人: 薛芳芳

1.一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，包括傳送室壓力模塊(1)、Back反應(yīng)室溫控器信號(hào)(2)、外部邏輯控制器模塊(3)、繼電器模塊(4)、Eurotherm溫控器報(bào)警模塊(5)、輸出開關(guān)(6)、瓦特龍溫控器報(bào)警模塊(7)和Side反應(yīng)室溫控器信號(hào)(8)，其特征在于：所述傳送室壓力模塊(1)的輸出端為外部邏輯控制器模塊(3)，所述傳送室壓力模塊(1)內(nèi)部有eurotherm的信號(hào)和watlow信號(hào)構(gòu)成，所述Back反應(yīng)室溫控器信號(hào)(2)的輸出端為外部邏輯控制器模塊(3)，所述Side反應(yīng)室溫控器信號(hào)(8)的輸出端為外部邏輯控制器模塊(3)，所述傳送室壓力模塊(1)、Back反應(yīng)室溫控器信號(hào)(2)和Side反應(yīng)室溫控器信號(hào)(8)的輸出端均接入至外部邏輯控制器模塊(3)中，所述外部邏輯控制器模塊(3)的輸出端為繼電器模塊(4)，所述繼電器模塊(4)的輸出端為輸出開關(guān)(6)，所述輸出開關(guān)(6)共設(shè)置有兩個(gè)輸出端，所述輸出開關(guān)(6)的一個(gè)輸出端為Eurotherm溫控器報(bào)警模塊(5)，所述輸出開關(guān)(6)的另一個(gè)輸出端為瓦特龍溫控器報(bào)警模塊(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述傳送室壓力模塊(1)、Back反應(yīng)室溫控器信號(hào)(2)和Side反應(yīng)室溫控器信號(hào)(8)均通過各自連接的線材進(jìn)行信號(hào)輸入。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述Eurotherm溫控器報(bào)警模塊(5)的輸出信號(hào)可插接至機(jī)臺(tái)中安全連鎖裝置中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述瓦特龍溫控器報(bào)警模塊(7)對(duì)應(yīng)的溫度監(jiān)測(cè)范圍為零至三百攝氏度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述Eurotherm溫控器報(bào)警模塊(5)對(duì)應(yīng)的溫度監(jiān)測(cè)范圍為大于二百七十五攝氏度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空反應(yīng)室內(nèi)溫度偵測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：所述外部邏輯控制器模塊(3)、繼電器模塊(4)和輸出開關(guān)(6)均集成外界控制內(nèi)。