[實用新型]一種芯片貼膜裝置有效
| 申請號: | 201921103731.3 | 申請日: | 2019-07-15 |
| 公開(公告)號: | CN209963030U | 公開(公告)日: | 2020-01-17 |
| 發明(設計)人: | 陸海;葉瑾琳 | 申請(專利權)人: | 浙江光特科技有限公司;重慶電子工程職業學院 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 33274 紹興普華聯合專利代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 韓云涵 |
| 地址: | 312000 浙江省紹興市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電動推桿 承片平臺 可伸縮軸 平臺底座 膜環 本實用新型 支撐座 圓弧形結構 磁吸方式 連接固定 芯片貼膜 保護膜 貼膜 | ||
1.一種芯片貼膜裝置,包括平臺底座(1)、承片平臺(2)和電動推桿(5),其特征在于:所述平臺底座(1)的上方設有承片平臺(2),所述承片平臺(2)的上方設有支撐座(3),所述支撐座(3)的頂部為圓弧形結構,所述平臺底座(1)的兩側設有電動推桿(5),所述電動推桿(5)上設有調節開關(4),所述電動推桿(5)包括可伸縮軸(6),所述可伸縮軸(6)的上方設有磁性擴膜環(7),所述磁性擴膜環(7)與可伸縮軸(6)通過磁吸方式連接固定,所述磁性擴膜環(7)上放置有保護膜(8)。
2.如權利要求1所述一種芯片貼膜裝置,其特征在于:所述磁性擴膜環(7)的數量為兩個。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江光特科技有限公司;重慶電子工程職業學院,未經浙江光特科技有限公司;重慶電子工程職業學院許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201921103731.3/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種簡易的抽真空裝置
- 下一篇:一種新型芯片清洗裝置
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





