[實用新型]一種結合微電子機械技術和鑄造工藝的引流槽結構及設備有效
| 申請號： | 201921102520.8 | 申請日： | 2019-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN210419226U | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發明（設計）人： | 夏偉鋒;魏旭東 | 申請（專利權）人： | 上海邁鑄半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236 | 代理人： | 沈建華;胡晶 |
| 地址： | 201821 上海市嘉定*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 結合 微電子 機械 技術 鑄造 工藝 引流 結構 設備 | ||
1.一種結合微電子機械技術和鑄造工藝的引流槽結構，其特征在于，包括噴嘴片和填充片，填充片上刻蝕有引流槽，引流槽與填充片上微腔結構的填充入口連通，噴嘴片上加工有一通孔，噴嘴片與填充片配合時，通孔與引流槽連通。
2.根據權利要求1所述的引流槽結構，其特征在于，引流槽包括一主槽和至少兩個支槽，通孔與主槽連通，主槽分別與至少兩個支槽連通，至少兩個支槽與微腔結構的填充入口一一對應連通。
3.根據權利要求2所述的引流槽結構，其特征在于，主槽與支槽成90°垂直連通。
4.根據權利要求3所述的引流槽結構，其特征在于，主槽為線型主槽。
5.根據權利要求2所述的引流槽結構，其特征在于，全部支槽分布于主槽兩側或者一側。
6.一種結合微電子機械技術和鑄造工藝的引流槽結構，其特征在于，包括噴嘴片和填充片，噴嘴片上加工有一通孔，噴嘴片的上表面加工有一引流槽，引流槽與通孔連通，噴嘴片與填充片配合時，引流槽與填充片上微腔結構的填充入口連通。
7.根據權利要求6所述的引流槽結構，其特征在于，引流槽包括一主槽和至少兩個支槽，通孔與主槽連通，主槽分別與至少兩個支槽連通，至少兩個支槽與微腔結構的填充入口一一對應連通。
8.根據權利要求7所述的引流槽結構，其特征在于，主槽為線型主槽，主槽與支槽成90°垂直連通。
9.一種結合微電子機械技術和鑄造工藝的引流槽設備，其特征在于，包括權利要求1至權利要求8中任一項所述的引流槽結構。
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