[實(shí)用新型]一種晶圓切割定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921083233.7
• 申請(qǐng)日: 2019-07-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210359850U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇斯米克電子科技有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/38
• 分類號(hào): B23K26/38;B23K26/402;B23K26/08
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種晶圓切割定位裝置，包括往復(fù)伺服電機(jī)(1)和激光切割頭(9)，其特征在于：所述往復(fù)伺服電機(jī)(1)的輸出軸通過(guò)螺栓固定有轉(zhuǎn)板(2)，所述轉(zhuǎn)板(2)的一端通過(guò)螺栓固定有液壓氣缸(3)，所述轉(zhuǎn)板(2)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有滑槽(4)，所述液壓氣缸(3)的輸出軸通過(guò)螺栓固定有移動(dòng)板(5)，所述移動(dòng)板(5)安裝在滑槽(4)的內(nèi)部，所述移動(dòng)板(5)的兩端均焊接有限位塊(6)，所述滑槽(4)的內(nèi)部焊接有滑桿(7)，所述限位塊(6)的表面開(kāi)設(shè)有與滑桿(7)相適配的孔，所述轉(zhuǎn)板(2)的另一端通過(guò)螺栓固定有激光位移傳感器(8)，所述激光切割頭(9)的上端貫穿轉(zhuǎn)板(2)并與移動(dòng)板(5)固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割定位裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)板(2)的上表面安裝有控制箱(10)，所述控制箱(10)的內(nèi)部安裝有信號(hào)接收模塊(11)、信號(hào)處理模塊(12)、數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊(13)和控制模塊(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓切割定位裝置，其特征在于：所述往復(fù)伺服電機(jī)(1)、液壓氣缸(3)、激光位移傳感器(8)和激光切割頭(9)的供電端均與控制模塊(14)電連接，所述信號(hào)處理模塊(12)分別與信號(hào)接收模塊(11)、數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊(13)和控制模塊(14)電性連接，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換模塊(13)與激光位移傳感器(8)電性連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割定位裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)板(2)為方形板狀結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割定位裝置，其特征在于：所述滑槽(4)內(nèi)部焊接的滑桿(7)共設(shè)置有兩個(gè)，所述限位塊(6)通過(guò)表面開(kāi)設(shè)的孔套接在滑桿(7)的外部。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割定位裝置，其特征在于：所述激光位移傳感器(8)位于滑槽(4)的一端，且所述激光位移傳感器(8)和移動(dòng)板(5)中心處于同一直線上。