[實用新型]一種晶圓切割定位裝置

有效

• 申請號: 201921083233.7
• 申請日: 2019-07-11
• 公開（公告）號: CN210359850U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 王宜
• 申請（專利權）人: 江蘇斯米克電子科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/08
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實用新型屬于切割定位技術領域，尤其為一種晶圓切割定位裝置，包括往復伺服電機和激光切割頭，所述往復伺服電機的輸出軸通過螺栓固定有轉板，所述轉板的一端通過螺栓固定有液壓氣缸，所述轉板的內部開設有滑槽，所述液壓氣缸的輸出軸通過螺栓固定有移動板，所述移動板安裝在滑槽的內部，所述移動板的兩端均焊接有限位塊，所述滑槽的內部焊接有滑桿；通過滑槽、移動板、限位塊和滑桿使得激光切割頭與轉板連接，移動板通過限位塊和滑桿安裝在滑槽的內部，同時限位塊套接在滑桿的表面，增加了移動板在滑槽內部移動的穩定性，提高了激光切割頭移動的平衡程度，同時激光切割頭通過移動板與液壓氣缸的輸出軸連接，提高了激光切割頭移動的便捷性。

技術領域

本實用新型屬于切割定位技術領域，具體涉及一種晶圓切割定位裝置。

背景技術

晶圓切割定位裝置，用于晶圓切割定位，使得晶圓定直徑切割，晶圓切割機又名硅片激光切割機、激光劃片機，工作原理是利用高能激光束照射在工件表面，使被照射區域局部熔化、氣化、從而實現硅材料的切割，傳統的晶圓切割定位裝置在使用時，激光切割頭移動穩定性差，造成晶圓切割精度降低，同定移動難度大的問題。

實用新型內容

為解決上述背景技術中提出的問題。本實用新型提供了一種晶圓切割定位裝置，具有激光切割頭移動穩定便捷的特點。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種晶圓切割定位裝置，包括往復伺服電機和激光切割頭，所述往復伺服電機的輸出軸通過螺栓固定有轉板，所述轉板的一端通過螺栓固定有液壓氣缸，所述轉板的內部開設有滑槽，所述液壓氣缸的輸出軸通過螺栓固定有移動板，所述移動板安裝在滑槽的內部，所述移動板的兩端均焊接有限位塊，所述滑槽的內部焊接有滑桿，所述限位塊的表面開設有與滑桿相適配的孔，所述轉板的另一端通過螺栓固定有激光位移傳感器，所述激光切割頭的上端貫穿轉板并與移動板固定連接。

作為本實用新型的一種晶圓切割定位裝置優選技術方案，所述轉板的上表面安裝有控制箱，所述控制箱的內部安裝有信號接收模塊、信號處理模塊、數模轉換模塊和控制模塊。

作為本實用新型的一種晶圓切割定位裝置優選技術方案，所述往復伺服電機、液壓氣缸、激光位移傳感器和激光切割頭的供電端均與控制模塊電連接，所述信號處理模塊分別與信號接收模塊、數模轉換模塊和控制模塊電性連接，所述數模轉換模塊與激光位移傳感器電性連接。

作為本實用新型的一種晶圓切割定位裝置優選技術方案，所述轉板為方形板狀結構。

作為本實用新型的一種晶圓切割定位裝置優選技術方案，所述滑槽內部焊接的滑桿共設置有兩個，所述限位塊通過表面開設的孔套接在滑桿的外部。

作為本實用新型的一種晶圓切割定位裝置優選技術方案，所述激光位移傳感器位于滑槽的一端，且所述激光位移傳感器和移動板中心處于同一直線上。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過滑槽、移動板、限位塊和滑桿使得激光切割頭與轉板連接，移動板通過限位塊和滑桿安裝在滑槽的內部，同時限位塊套接在滑桿的表面，增加了移動板在滑槽內部移動的穩定性，提高了激光切割頭移動的平衡程度，同時激光切割頭通過移動板與液壓氣缸的輸出軸連接，提高了激光切割頭移動的便捷性，增加了激光切割頭對圓晶板進行切割的穩定性和便捷性。

2、通過安裝在轉板表面的控制箱，使得控制箱內部安裝的控制模塊對往復伺服電機、液壓氣缸和激光位移傳感器進行控制，同時數模轉換模塊接收激光位移傳感器上傳的信號后通過信號處理模塊進行分析，使得控制模塊對液壓氣缸的輸出軸伸縮進行控制，提高了激光切割頭移動的精準性。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：