[實用新型]硅片插片機

有效

• 申請號: 201921072572.5
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN209859927U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 向永富
• 申請（專利權）人: 蘇州璞智自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及硅片加工設備領域，尤其是硅片插片機。該插片機包括水平直線模組、上下驅動氣缸、緩沖機構、吸盤、花籃升降臺、花籃傳動道、花籃、吹氣機構、壓緊氣缸、壓板、硅片升降臺、擋板、彈簧、機臺和定位板，所述機臺上固定有水平直線模組和吹氣機構，水平直線模組的滑座上固定有上下驅動氣缸，上下驅動氣缸的活塞桿通過緩沖機構與吸盤連接。本實用新型通過水平直線模組配合上下驅動氣缸驅動吸盤，將花籃升降臺上的層疊硅片逐一放置到花籃傳動道上，經由花籃傳動道傳送至花籃升降臺上的花籃里。壓緊氣缸及壓板可以壓緊第一片以下的硅片，防止硅片粘連。吹氣機構可以吹除硅片上的污物。本申請提高了硅片插片的效率。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工設備領域，尤其是硅片插片機。

背景技術

單晶硅片的加工包括單晶硅棒先開方，再切片，多晶硅片的加工包括多晶硅錠切割，再切片，準單晶硅片的加工包括準單晶硅錠切割，再切片。因此切片是晶體硅太陽能電池片加工工藝中必不可少的工藝之一。切片后得到的硅片層疊在一起，需要分片后插入花籃中進行運輸。但是現有的插片機效率較低。

實用新型內容

為了解決背景技術中描述的技術問題，本實用新型提供了一種硅片插片機。通過水平直線模組配合上下驅動氣缸驅動吸盤，將花籃升降臺上的層疊硅片逐一放置到花籃傳動道上，經由花籃傳動道傳送至花籃升降臺上的花籃里。壓緊氣缸及壓板可以壓緊第一片以下的硅片，防止硅片粘連。吹氣機構可以吹除硅片上的污物。本申請提高了硅片插片的效率。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種硅片插片機，包括水平直線模組、上下驅動氣缸、緩沖機構、吸盤、花籃升降臺、花籃傳動道、花籃、吹氣機構、壓緊氣缸、壓板、硅片升降臺、擋板、彈簧、機臺和定位板，所述機臺上固定有水平直線模組和吹氣機構，水平直線模組的滑座上固定有上下驅動氣缸，上下驅動氣缸的活塞桿通過緩沖機構與吸盤連接，機臺底部固定有花籃升降臺和硅片升降臺，花籃升降臺的移動平臺上設有花籃，硅片升降臺的移動平臺四周滑配連接有擋板，硅片升降臺的移動平臺與擋板之間連接有彈簧，機臺上安裝有花籃傳動道，機臺上開設有用于穿過花籃的穿槽和用于穿過硅片的穿槽，擋板無法穿過穿槽，機臺反面固定有壓緊氣缸，壓緊氣缸的活塞桿上固定有壓板，用于穿過硅片的穿槽一側固定有定位板。

具體地，所述緩沖機構是由兩個筒體套設并滑動連接組成，兩個筒體之間連接有彈簧。

具體地，所述花籃升降臺由氣缸一和花籃定位板組成，氣缸一的活塞桿端固定有花籃定位板，花籃通過插銷連接在花籃定位板上。

具體地，所述花籃傳動道由皮帶輸送機和導向塊組成，導向塊為梯形塊，皮帶輸送機位于兩個相互對稱導向塊之間。

具體地，所述吹氣機構由氣腔和噴嘴組成，氣腔分別與噴嘴和氣泵相連通。

具體地，所述硅片升降臺由氣缸二和硅片放置板，氣缸二的活塞桿端固定有硅片放置板，硅片放置板四個側邊分別滑配連接有擋板，擋板上開設有滑槽，硅片放置板上固定有滑塊，滑塊置于滑槽內滑配連接，彈簧置于滑槽內，彈簧一端固定在滑塊上，彈簧另一端固定在擋板上。

本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了一種硅片插片機。通過水平直線模組配合上下驅動氣缸驅動吸盤，將花籃升降臺上的層疊硅片逐一放置到花籃傳動道上，經由花籃傳動道傳送至花籃升降臺上的花籃里。壓緊氣缸及壓板可以壓緊第一片以下的硅片，防止硅片粘連。吹氣機構可以吹除硅片上的污物。本申請提高了硅片插片的效率。

附圖說明

下面結合附圖和實施例對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的主視圖；

圖2是本實用新型的俯視圖；

圖3是本實用新型的擋板的結構示意圖；