[實用新型]硅片插片機

有效

• 申請號: 201921072572.5
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN209859927U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發明（設計）人: 向永富
• 申請（專利權）人: 蘇州璞智自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片插片機，其特征是，包括水平直線模組(1)、上下驅動氣缸(2)、緩沖機構(3)、吸盤(4)、花籃升降臺(5)、花籃傳動道(6)、花籃(7)、吹氣機構(8)、壓緊氣缸(9)、壓板(10)、硅片升降臺(11)、擋板(12)、彈簧(13)、機臺(14)和定位板(15)，所述機臺(14)上固定有水平直線模組(1)和吹氣機構(8)，水平直線模組(1)的滑座上固定有上下驅動氣缸(2)，上下驅動氣缸(2)的活塞桿通過緩沖機構(3)與吸盤(4)連接，機臺(14)底部固定有花籃升降臺(5)和硅片升降臺(11)，花籃升降臺(5)的移動平臺上設有花籃(7)，硅片升降臺(11)的移動平臺四周滑配連接有擋板(12)，硅片升降臺(11)的移動平臺與擋板(12)之間連接有彈簧(13)，機臺(14)上安裝有花籃傳動道(6)，機臺(14)上開設有用于穿過花籃(7)的穿槽和用于穿過硅片的穿槽，擋板(12)無法穿過穿槽，機臺(14)反面固定有壓緊氣缸(9)，壓緊氣缸(9)的活塞桿上固定有壓板(10)，用于穿過硅片的穿槽一側固定有定位板(15)。

2.根據權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于：所述緩沖機構(3)是由兩個筒體套設并滑動連接組成，兩個筒體之間連接有彈簧。

3.根據權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于：所述花籃升降臺(5)由氣缸一(51)和花籃定位板(52)組成，氣缸一(51)的活塞桿端固定有花籃定位板(52)，花籃(7)通過插銷連接在花籃定位板(52)上。

4.根據權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于：所述花籃傳動道(6)由皮帶輸送機(61)和導向塊(62)組成，導向塊(62)為梯形塊，皮帶輸送機(61)位于兩個相互對稱導向塊(62)之間。

5.根據權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于：所述吹氣機構(8)由氣腔和噴嘴組成，氣腔分別與噴嘴和氣泵相連通。

6.根據權利要求1所述的硅片插片機，其特征在于：所述硅片升降臺(11)由氣缸二(111)和硅片放置板(112)，氣缸二(111)的活塞桿端固定有硅片放置板(112)，硅片放置板(112)四個側邊分別滑配連接有擋板(12)，擋板(12)上開設有滑槽，硅片放置板(112)上固定有滑塊，滑塊置于滑槽內滑配連接，彈簧(13)置于滑槽內，彈簧(13)一端固定在滑塊上，彈簧(13)另一端固定在擋板(12)上。