[實用新型]全自動刻蝕上料機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921072567.4
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN209880568U
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設計）人: 向永富
• 申請（專利權）人: 蘇州璞智自動化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及硅片加工設備領域，尤其是全自動刻蝕上料機。該上料機包括機臺、X軸向輸送臺一、X軸向輸送臺二、Y軸向輸送臺一、Y軸向輸送臺二、升降臺、上下直線模組、傳送平臺、緩存框體、轉桿、框體驅動氣缸和污物吹除機構，所述機臺上固定有升降臺、Y軸向輸送臺一、Y軸向輸送臺二、上下直線模組、框體驅動氣缸、污物吹除機構。本實用新型通過Y軸向輸送臺一配合可升降的X軸向輸送臺一實現(xiàn)硅片的L形軌道運行。通過X軸向輸送臺二和Y軸向輸送臺二配合傳送平臺實現(xiàn)硅片L形軌道運行。通過框體驅動氣缸驅動緩存框體來緩存硅片的傳送。通過污物吹除機構來清理硅片上的污物。提高了硅片上料的效率。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工設備領域，尤其是全自動刻蝕上料機。

背景技術

刻蝕工藝是把未被抗蝕劑掩蔽的薄膜層除去，從而在薄膜上得到與抗蝕劑膜上完全相同圖形的工藝。在集成電路制造過程中，經(jīng)過掩模套準、曝光和顯影，在抗蝕劑膜上復印出所需的圖形，或者用電子束直接描繪在抗蝕劑膜上產(chǎn)生圖形，然后把此圖形精確地轉移到抗蝕劑下面的氧化硅上去，制造出所需的薄層圖案。而在硅片進行刻蝕加工之前需要上料。但現(xiàn)有的上料機效率較低。

實用新型內容

為了解決背景技術中描述的技術問題，本實用新型提供了一種全自動刻蝕上料機。通過Y軸向輸送臺一配合可升降的X軸向輸送臺一實現(xiàn)硅片的L形軌道運行。通過X軸向輸送臺二和Y軸向輸送臺二配合傳送平臺實現(xiàn)硅片L形軌道運行。通過框體驅動氣缸驅動緩存框體來緩存硅片的傳送。通過污物吹除機構來清理硅片上的污物。提高了硅片上料的效率。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種全自動刻蝕上料機，包括機臺、X軸向輸送臺一、X軸向輸送臺二、Y軸向輸送臺一、Y軸向輸送臺二、升降臺、上下直線模組、傳送平臺、緩存框體、轉桿、框體驅動氣缸和污物吹除機構，所述機臺上固定有升降臺、Y軸向輸送臺一、Y軸向輸送臺二、上下直線模組、框體驅動氣缸、污物吹除機構，X軸向輸送臺一兩端分別固定在升降臺的平臺上，Y軸向輸送臺一上設有用于穿過X軸向輸送臺一的凹槽，X軸向輸送臺一與X軸向輸送臺二位于同一直線上，傳送平臺固定在上下直線模組的滑座上，傳送平臺相鄰的兩側分別朝向X軸向輸送臺二的端頭和Y軸向輸送臺二的端頭，X軸向輸送臺二穿過緩存框體和污物吹除機構，緩存框體的兩側板均轉動連接有數(shù)個用于放置硅片的轉桿，緩存框體的底板固定在框體驅動氣缸的活塞桿上。

具體地，所述污物吹除機構由固定框、腔室和噴氣嘴組成，固定框固定在機臺上，固定框上下兩端分別固定有腔室，腔室與噴氣嘴固定并連同，腔室與氣泵相連通，X軸向輸送臺二穿過固定框。

具體地，所述X軸向輸送臺一、X軸向輸送臺二、Y軸向輸送臺一、Y軸向輸送臺二均為皮帶輸送機，皮帶輸送機由兩個平行的臺體、兩條平行的皮帶、數(shù)個傳動輪和電機組成，臺體上轉動連接有數(shù)個傳動輪，臺體上的傳動輪均貼合于皮帶內圈，組成皮帶輸送機的兩個臺體相互對稱，兩個相互對稱的臺體上相對應的傳動輪均通過軸桿固定連接在一起，電機的輸出軸通過傳動帶與其中一個軸桿相連接。

具體地，所述Y軸向輸送臺一的臺體上開設有兩個凹槽，X軸向輸送臺一的兩個臺體分別穿過Y軸向輸送臺一的臺體上的兩個凹槽。

具體地，所述升降臺由升降氣缸和平板組成，升降氣缸的缸體固定在機臺上，升降氣缸的活塞桿端固定有平板，平板固定在X軸向輸送臺一的臺體底端。

具體地，所述傳送平臺由平臺、驅動電機、傳送帶和滑槽組成，平臺內轉動連接有兩根相互平行的轉軸，每根轉軸上套設并固定有兩個傳動輪，兩個并不位于同一根轉軸上的傳動輪貼合在一個傳送帶內圈上，平臺上開設有用于滑動花籃的滑槽，滑槽位于兩條傳送帶之間，驅動電機的輸出軸固定在其中一根轉軸端頭上，驅動電機固定在平臺上，平臺固定在上下直線模組的滑座上。